Pays-Bas · Machines, appareils et consommables électriques
Titre officiel · Nederlands
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Titre officiel · Nederlands
Metrology SEM+FIB system
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Nederlandse Organisatie voor toegepast-natuurwetenschappelijk onderzoek TNO · Pays-Bas
Voir les avis sous ce nomRésumé officiel · Nederlands
The main purpose of this FIB/SEM equipment is to perform material milling (cutting), 3D characterization, and cross section analysis of epitaxially grown InP, InGaAs, InAlGaAs and InGaAsP layers on InP substrates. The structures may also contain polymer-based planarization layers, SiOx or SiNx dielectric layers and TiPtAu or NiGeAu metal layers. Levering van één SEM +FIB systeem
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The main purpose of this FIB/SEM equipment is to perform material milling (cutting), 3D characterization, and cross section analysis of epitaxially grown InP, InGaAs, InAlGaAs and InGaAsP layers on InP substrates. The structures may also contain polymer-based planarization layers, SiOx or SiNx dielectric layers and TiPtAu or NiGeAu metal layers. Levering van één SEM +FIB systeem
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TED · 519634-2026. Vérifié le 24 août 2026 à 04:05.
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