Oficiálne zhrnutie · Deutsch
Čo je predmetom obstarávania?
Für die aktuell am Lehrstuhl durchzuführenden Projekte ist die Herstellung freistehender Wellenleiter mittels "Faraday Cage Etching" zentral. Dieser komplexe Prozess erfordert zwei völlig unterschiedliche Ätzregime in derselben Kammer. Entsprechend werden Entkoppelte Plasmadichte und Ionenenergie (für p-i-n Dioden Integration) benötigt. Weitere Forschungsprojekte erfordern eine aktive Helium-Rückseitenkühlung (für nanophotonische Wellenleiter), um "Fließen" oder Verbrennen des Elektronenstrahl-Resists (E-Beam Lack) zu verhindern. Bei zusätzlichen Projekten sowie bei der Nachbearbeitung von FIB-implantierten Defekten hat die Erhaltung der Kristallqualität oberste Priorität. Hochenergetischer Ionenbeschuss würde das Gitter schädigen und die optische Kohärenz der Farbzentren zerstören. Wichti
História oznámení
Časová os verejného obstarávania
Sledujte hlavné etapy a aktualizácie súvisiace s týmto postupom verejného obstarávania.
Zatiaľ sa nenašlo žiadne ďalšie súvisiace oznámenie.
Časová os bola zostavená na základe prepojených oficiálnych oznámení TED. Prednosť majú úradné dokumenty.
Zdroj a spoľahlivosť
Zdroj: oficiálne oznámenie TED 590353-2026, naposledy overené 28. 8. 2026, 8:05. Rozhodujúce zostáva pôvodné zverejnenie.
Údaje sú upravené na ľahšie čítanie. Oficiálne oznámenie a súťažné podklady majú vždy prednosť.