Uzatvorené TED · Zdroj · Jazyk: Deutsch

Je k dispozícii novšia publikácia.
Oznámenie o výsledku · TED 654317-2026 ·

Zobraziť oznámenie na Tenderiva

Nemecko · Elektrické stroje, prístroje a spotrebný materiál

Oficiálny názov · Deutsch

Reaktives Ionenätzen

Freistaat Bayern, vertreten durch die Universität Erlangen-Nürnberg · Nemecko

Zobraziť oznámenia pod týmto názvom
Oficiálne zhrnutie · Deutsch

Für die aktuell am Lehrstuhl durchzuführenden Projekte ist die Herstellung freistehender Wellenleiter mittels "Faraday Cage Etching" zentral. Dieser komplexe Prozess erfordert zwei völlig unterschiedliche Ätzregime in derselben Kammer. Entsprechend werden Entkoppelte Plasmadichte und Ionenenergie (für p-i-n Dioden Integration) benötigt. Weitere Forschungsprojekte erfordern eine aktive Helium-Rückseitenkühlung (für nanophotonische Wellenleiter), um…

Čo je predmetom obstarávania?
Lehota 11. 9. 2026 23:59 UTC+02:00
Predpokladaná hodnotaNeuvedené
Zverejnené27. 8. 2026
Otvoriť oficiálne oznámenie ↗

Oficiálne zhrnutie · Deutsch

Čo je predmetom obstarávania?

Für die aktuell am Lehrstuhl durchzuführenden Projekte ist die Herstellung freistehender Wellenleiter mittels "Faraday Cage Etching" zentral. Dieser komplexe Prozess erfordert zwei völlig unterschiedliche Ätzregime in derselben Kammer. Entsprechend werden Entkoppelte Plasmadichte und Ionenenergie (für p-i-n Dioden Integration) benötigt. Weitere Forschungsprojekte erfordern eine aktive Helium-Rückseitenkühlung (für nanophotonische Wellenleiter), um "Fließen" oder Verbrennen des Elektronenstrahl-Resists (E-Beam Lack) zu verhindern. Bei zusätzlichen Projekten sowie bei der Nachbearbeitung von FIB-implantierten Defekten hat die Erhaltung der Kristallqualität oberste Priorität. Hochenergetischer Ionenbeschuss würde das Gitter schädigen und die optische Kohärenz der Farbzentren zerstören.…

História oznámení

Časová os verejného obstarávania

Sledujte hlavné etapy a aktualizácie súvisiace s týmto postupom verejného obstarávania.

  1. Oznámenie o verejnom obstarávaní Prezerané oznámenie

    · TED 590353-2026

    Otvoriť oficiálne oznámenie ↗
  2. Oznámenie o výsledku

    · TED 654317-2026

    Zobraziť oznámenie na Tenderiva

    Otvoriť oficiálne oznámenie ↗

Údaje sú upravené na ľahšie čítanie. Oficiálne oznámenie a súťažné podklady majú vždy prednosť.

Zdroj a spoľahlivosť

TED · 590353-2026. Overené 28. 8. 2026, 8:05.

Údaje sú upravené na ľahšie čítanie. Oficiálne oznámenie a súťažné podklady majú vždy prednosť.

Nahlásiť chybu e-mailom