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Tyskland · Elektriske maskiner, apparater og forbrugsvarer

Officiel TED-titel · Deutsch

Reaktives Ionenätzen

Freistaat Bayern, vertreten durch die Universität Erlangen-Nürnberg · Tyskland

Frist 11. sep. 2026 21.59 UTC
Anslået værdiIkke oplyst
Offentliggjort27. aug. 2026
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Officielt resumé · Deutsch

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Für die aktuell am Lehrstuhl durchzuführenden Projekte ist die Herstellung freistehender Wellenleiter mittels "Faraday Cage Etching" zentral. Dieser komplexe Prozess erfordert zwei völlig unterschiedliche Ätzregime in derselben Kammer. Entsprechend werden Entkoppelte Plasmadichte und Ionenenergie (für p-i-n Dioden Integration) benötigt. Weitere Forschungsprojekte erfordern eine aktive Helium-Rückseitenkühlung (für nanophotonische Wellenleiter), um "Fließen" oder Verbrennen des Elektronenstrahl-Resists (E-Beam Lack) zu verhindern. Bei zusätzlichen Projekten sowie bei der Nachbearbeitung von FIB-implantierten Defekten hat die Erhaltung der Kristallqualität oberste Priorität. Hochenergetischer Ionenbeschuss würde das Gitter schädigen und die optische Kohärenz der Farbzentren zerstören. Wichti

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  1. Udbudsbekendtgørelse Aktuel meddelelse

    · TED 590353-2026

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Kilde og pålidelighed

Kilde: officiel TED-meddelelse 590353-2026, senest kontrolleret 28. aug. 2026 08.05. Den oprindelige offentliggørelse er fortsat gældende.

Data er omstruktureret for at være lettere at læse. Den officielle meddelelse og udbudsdokumenterne er altid gældende.