Oficiální shrnutí · Deutsch
Co je předmětem zakázky?
Für die aktuell am Lehrstuhl durchzuführenden Projekte ist die Herstellung freistehender Wellenleiter mittels "Faraday Cage Etching" zentral. Dieser komplexe Prozess erfordert zwei völlig unterschiedliche Ätzregime in derselben Kammer. Entsprechend werden Entkoppelte Plasmadichte und Ionenenergie (für p-i-n Dioden Integration) benötigt. Weitere Forschungsprojekte erfordern eine aktive Helium-Rückseitenkühlung (für nanophotonische Wellenleiter), um "Fließen" oder Verbrennen des Elektronenstrahl-Resists (E-Beam Lack) zu verhindern. Bei zusätzlichen Projekten sowie bei der Nachbearbeitung von FIB-implantierten Defekten hat die Erhaltung der Kristallqualität oberste Priorität. Hochenergetischer Ionenbeschuss würde das Gitter schädigen und die optische Kohärenz der Farbzentren zerstören. Wichti
Historie oznámení
Časová osa zadávacího řízení
Sledujte hlavní fáze a aktualizace spojené s tímto zadávacím řízením.
Dosud nebylo nalezeno žádné další související oznámení.
-
Oznámení o zahájení zadávacího řízení Aktuální oznámení
· TED 590353-2026
Otevřít oficiální oznámení ↗
Časová osa je sestavena z propojených úředních oznámení TED. Rozhodující jsou úřední dokumenty.
Zdroj a spolehlivost
Zdroj: oficiální oznámení TED 590353-2026, naposledy ověřeno 28. 8. 2026 8:05. Rozhodující zůstává původní zveřejnění.
Data jsou upravena pro snazší čtení. Oficiální oznámení a zadávací dokumentace mají vždy přednost.