Otevřeno Zdroj · Jazyk: Deutsch

Německo · Elektrické stroje, přístroje a spotřební materiál

Oficiální název TED · Deutsch

Reaktives Ionenätzen

Freistaat Bayern, vertreten durch die Universität Erlangen-Nürnberg · Německo

Lhůta 11. 9. 2026 21:59 UTC
Předpokládaná hodnotaNeuvedeno
Zveřejněno27. 8. 2026
Otevřít oficiální oznámení ↗

Oficiální shrnutí · Deutsch

Co je předmětem zakázky?

Für die aktuell am Lehrstuhl durchzuführenden Projekte ist die Herstellung freistehender Wellenleiter mittels "Faraday Cage Etching" zentral. Dieser komplexe Prozess erfordert zwei völlig unterschiedliche Ätzregime in derselben Kammer. Entsprechend werden Entkoppelte Plasmadichte und Ionenenergie (für p-i-n Dioden Integration) benötigt. Weitere Forschungsprojekte erfordern eine aktive Helium-Rückseitenkühlung (für nanophotonische Wellenleiter), um "Fließen" oder Verbrennen des Elektronenstrahl-Resists (E-Beam Lack) zu verhindern. Bei zusätzlichen Projekten sowie bei der Nachbearbeitung von FIB-implantierten Defekten hat die Erhaltung der Kristallqualität oberste Priorität. Hochenergetischer Ionenbeschuss würde das Gitter schädigen und die optische Kohärenz der Farbzentren zerstören. Wichti

Historie oznámení

Časová osa zadávacího řízení

Sledujte hlavní fáze a aktualizace spojené s tímto zadávacím řízením.

Dosud nebylo nalezeno žádné další související oznámení.

  1. Oznámení o zahájení zadávacího řízení Aktuální oznámení

    · TED 590353-2026

    Otevřít oficiální oznámení ↗

Časová osa je sestavena z propojených úředních oznámení TED. Rozhodující jsou úřední dokumenty.

Zdroj a spolehlivost

Zdroj: oficiální oznámení TED 590353-2026, naposledy ověřeno 28. 8. 2026 8:05. Rozhodující zůstává původní zveřejnění.

Data jsou upravena pro snazší čtení. Oficiální oznámení a zadávací dokumentace mají vždy přednost.