Uzavřeno TED · Zdroj · Jazyk: Deutsch

Je k dispozici novější publikace.
Oznámení o výsledku · TED 654317-2026 ·

Zobrazit oznámení na Tenderiva

Německo · Elektrické stroje, přístroje a spotřební materiál

Oficiální název · Deutsch

Reaktives Ionenätzen

Freistaat Bayern, vertreten durch die Universität Erlangen-Nürnberg · Německo

Zobrazit oznámení pod tímto názvem
Oficiální shrnutí · Deutsch

Für die aktuell am Lehrstuhl durchzuführenden Projekte ist die Herstellung freistehender Wellenleiter mittels "Faraday Cage Etching" zentral. Dieser komplexe Prozess erfordert zwei völlig unterschiedliche Ätzregime in derselben Kammer. Entsprechend werden Entkoppelte Plasmadichte und Ionenenergie (für p-i-n Dioden Integration) benötigt. Weitere Forschungsprojekte erfordern eine aktive Helium-Rückseitenkühlung (für nanophotonische Wellenleiter), um…

Co je předmětem zakázky?
Lhůta 11. 9. 2026 23:59 UTC+02:00
Předpokládaná hodnotaNeuvedeno
Zveřejněno27. 8. 2026
Otevřít oficiální oznámení ↗

Oficiální shrnutí · Deutsch

Co je předmětem zakázky?

Für die aktuell am Lehrstuhl durchzuführenden Projekte ist die Herstellung freistehender Wellenleiter mittels "Faraday Cage Etching" zentral. Dieser komplexe Prozess erfordert zwei völlig unterschiedliche Ätzregime in derselben Kammer. Entsprechend werden Entkoppelte Plasmadichte und Ionenenergie (für p-i-n Dioden Integration) benötigt. Weitere Forschungsprojekte erfordern eine aktive Helium-Rückseitenkühlung (für nanophotonische Wellenleiter), um "Fließen" oder Verbrennen des Elektronenstrahl-Resists (E-Beam Lack) zu verhindern. Bei zusätzlichen Projekten sowie bei der Nachbearbeitung von FIB-implantierten Defekten hat die Erhaltung der Kristallqualität oberste Priorität. Hochenergetischer Ionenbeschuss würde das Gitter schädigen und die optische Kohärenz der Farbzentren zerstören.…

Historie oznámení

Časová osa zadávacího řízení

Sledujte hlavní fáze a aktualizace spojené s tímto zadávacím řízením.

  1. Oznámení o zahájení zadávacího řízení Prohlížené oznámení

    · TED 590353-2026

    Otevřít oficiální oznámení ↗
  2. Oznámení o výsledku

    · TED 654317-2026

    Zobrazit oznámení na Tenderiva

    Otevřít oficiální oznámení ↗

Data jsou upravena pro snazší čtení. Oficiální oznámení a zadávací dokumentace mají vždy přednost.

Zdroj a spolehlivost

TED · 590353-2026. Ověřeno 28. 8. 2026 8:05.

Data jsou upravena pro snazší čtení. Oficiální oznámení a zadávací dokumentace mají vždy přednost.

Nahlásit chybu e-mailem