Odprto Vir · Jezik: Deutsch

Nemčija · Električni stroji, naprave in potrošni material

Uradni naslov TED · Deutsch

Reaktives Ionenätzen

Freistaat Bayern, vertreten durch die Universität Erlangen-Nürnberg · Nemčija

Rok 11. sep. 2026 21:59 UTC
Ocenjena vrednostNi navedeno
Objavljeno27. avg. 2026
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Uradni povzetek · Deutsch

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Für die aktuell am Lehrstuhl durchzuführenden Projekte ist die Herstellung freistehender Wellenleiter mittels "Faraday Cage Etching" zentral. Dieser komplexe Prozess erfordert zwei völlig unterschiedliche Ätzregime in derselben Kammer. Entsprechend werden Entkoppelte Plasmadichte und Ionenenergie (für p-i-n Dioden Integration) benötigt. Weitere Forschungsprojekte erfordern eine aktive Helium-Rückseitenkühlung (für nanophotonische Wellenleiter), um "Fließen" oder Verbrennen des Elektronenstrahl-Resists (E-Beam Lack) zu verhindern. Bei zusätzlichen Projekten sowie bei der Nachbearbeitung von FIB-implantierten Defekten hat die Erhaltung der Kristallqualität oberste Priorität. Hochenergetischer Ionenbeschuss würde das Gitter schädigen und die optische Kohärenz der Farbzentren zerstören. Wichti

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Časovnica postopka javnega naročanja

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  1. Obvestilo o javnem razpisu Trenutno obvestilo

    · TED 590353-2026

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Časovnica je sestavljena na podlagi povezanih uradnih obvestil TED. Merodajni so uradni dokumenti.

Vir in zanesljivost

Vir: uradno obvestilo TED 590353-2026, nazadnje preverjeno 28. avg. 2026 08:05. Odločilna ostaja izvirna objava.

Podatki so preurejeni za lažje branje. Uradno obvestilo in razpisna dokumentacija vedno veljata.