Uradni povzetek · Deutsch
Kaj je predmet naročila?
Für die aktuell am Lehrstuhl durchzuführenden Projekte ist die Herstellung freistehender Wellenleiter mittels "Faraday Cage Etching" zentral. Dieser komplexe Prozess erfordert zwei völlig unterschiedliche Ätzregime in derselben Kammer. Entsprechend werden Entkoppelte Plasmadichte und Ionenenergie (für p-i-n Dioden Integration) benötigt. Weitere Forschungsprojekte erfordern eine aktive Helium-Rückseitenkühlung (für nanophotonische Wellenleiter), um "Fließen" oder Verbrennen des Elektronenstrahl-Resists (E-Beam Lack) zu verhindern. Bei zusätzlichen Projekten sowie bei der Nachbearbeitung von FIB-implantierten Defekten hat die Erhaltung der Kristallqualität oberste Priorität. Hochenergetischer Ionenbeschuss würde das Gitter schädigen und die optische Kohärenz der Farbzentren zerstören. Wichti
Zgodovina obvestil
Časovnica postopka javnega naročanja
Spremljajte glavne faze in posodobitve, povezane s tem postopkom javnega naročanja.
Za zdaj ni bilo najdeno nobeno drugo povezano obvestilo.
Časovnica je sestavljena na podlagi povezanih uradnih obvestil TED. Merodajni so uradni dokumenti.
Vir in zanesljivost
Vir: uradno obvestilo TED 590353-2026, nazadnje preverjeno 28. avg. 2026 08:05. Odločilna ostaja izvirna objava.
Podatki so preurejeni za lažje branje. Uradno obvestilo in razpisna dokumentacija vedno veljata.