Oficjalne streszczenie · Deutsch
Co jest przedmiotem zamówienia?
Für die aktuell am Lehrstuhl durchzuführenden Projekte ist die Herstellung freistehender Wellenleiter mittels "Faraday Cage Etching" zentral. Dieser komplexe Prozess erfordert zwei völlig unterschiedliche Ätzregime in derselben Kammer. Entsprechend werden Entkoppelte Plasmadichte und Ionenenergie (für p-i-n Dioden Integration) benötigt. Weitere Forschungsprojekte erfordern eine aktive Helium-Rückseitenkühlung (für nanophotonische Wellenleiter), um "Fließen" oder Verbrennen des Elektronenstrahl-Resists (E-Beam Lack) zu verhindern. Bei zusätzlichen Projekten sowie bei der Nachbearbeitung von FIB-implantierten Defekten hat die Erhaltung der Kristallqualität oberste Priorität. Hochenergetischer Ionenbeschuss würde das Gitter schädigen und die optische Kohärenz der Farbzentren zerstören. Wichti
Historia ogłoszeń
Oś czasu postępowania o udzielenie zamówienia
Śledź główne etapy i aktualizacje powiązane z tym postępowaniem o udzielenie zamówienia.
Nie znaleziono jeszcze żadnego innego powiązanego ogłoszenia.
-
Ogłoszenie o procedurze konkurencyjnej Bieżące ogłoszenie
· TED 590353-2026
Otwórz oficjalne ogłoszenie ↗
Oś czasu opracowano na podstawie powiązanych oficjalnych ogłoszeń TED. Wiążące są dokumenty urzędowe.
Źródło i wiarygodność
Źródło: oficjalne ogłoszenie TED 590353-2026, ostatnia weryfikacja: 28 sie 2026, 08:05. Rozstrzygająca pozostaje pierwotna publikacja.
Dane uporządkowano dla łatwiejszego czytania. Zawsze rozstrzygają oficjalne ogłoszenie i dokumenty zamówienia.