Επίσημη περίληψη · Deutsch
Τι αποτελεί αντικείμενο της σύμβασης;
Für die aktuell am Lehrstuhl durchzuführenden Projekte ist die Herstellung freistehender Wellenleiter mittels "Faraday Cage Etching" zentral. Dieser komplexe Prozess erfordert zwei völlig unterschiedliche Ätzregime in derselben Kammer. Entsprechend werden Entkoppelte Plasmadichte und Ionenenergie (für p-i-n Dioden Integration) benötigt. Weitere Forschungsprojekte erfordern eine aktive Helium-Rückseitenkühlung (für nanophotonische Wellenleiter), um "Fließen" oder Verbrennen des Elektronenstrahl-Resists (E-Beam Lack) zu verhindern. Bei zusätzlichen Projekten sowie bei der Nachbearbeitung von FIB-implantierten Defekten hat die Erhaltung der Kristallqualität oberste Priorität. Hochenergetischer Ionenbeschuss würde das Gitter schädigen und die optische Kohärenz der Farbzentren zerstören. Wichti
Ιστορικό γνωστοποιήσεων
Χρονολόγιο διαδικασίας σύναψης σύμβασης
Παρακολουθήστε τα κύρια στάδια και τις ενημερώσεις που συνδέονται με αυτή τη διαδικασία σύναψης σύμβασης.
Δεν έχει ακόμη εντοπιστεί άλλη σχετική γνωστοποίηση.
Το χρονολόγιο συντάχθηκε από συνδεδεμένες επίσημες γνωστοποιήσεις TED. Υπερισχύουν τα επίσημα έγγραφα.
Πηγή και αξιοπιστία
Πηγή: επίσημη προκήρυξη TED 590353-2026, τελευταίος έλεγχος: 28 Αυγ 2026, 8:05 π.μ.. Η αρχική δημοσίευση παραμένει καθοριστική.
Τα δεδομένα έχουν αναδιαρθρωθεί για ευκολότερη ανάγνωση. Η επίσημη προκήρυξη και τα έγγραφα της σύμβασης υπερισχύουν πάντα.