Slēgts TED · Avots · Valoda: Deutsch

Ir pieejama jaunāka publikācija.
Rezultātu paziņojums · TED 654317-2026 ·

Skatīt paziņojumu Tenderiva

Vācija · Elektriskās mašīnas, aparāti un patēriņa materiāli

Oficiālais nosaukums · Deutsch

Reaktives Ionenätzen

Freistaat Bayern, vertreten durch die Universität Erlangen-Nürnberg · Vācija

Skatīt paziņojumus ar šo nosaukumu
Oficiālais kopsavilkums · Deutsch

Für die aktuell am Lehrstuhl durchzuführenden Projekte ist die Herstellung freistehender Wellenleiter mittels "Faraday Cage Etching" zentral. Dieser komplexe Prozess erfordert zwei völlig unterschiedliche Ätzregime in derselben Kammer. Entsprechend werden Entkoppelte Plasmadichte und Ionenenergie (für p-i-n Dioden Integration) benötigt. Weitere Forschungsprojekte erfordern eine aktive Helium-Rückseitenkühlung (für nanophotonische Wellenleiter), um…

Kas tiek iepirkts?
Termiņš 2026. gada 11. sept. 23:59 UTC+02:00
Paredzamā vērtībaNav paziņots
Publicēts2026. gada 27. aug.
Atvērt oficiālo paziņojumu ↗

Oficiālais kopsavilkums · Deutsch

Kas tiek iepirkts?

Für die aktuell am Lehrstuhl durchzuführenden Projekte ist die Herstellung freistehender Wellenleiter mittels "Faraday Cage Etching" zentral. Dieser komplexe Prozess erfordert zwei völlig unterschiedliche Ätzregime in derselben Kammer. Entsprechend werden Entkoppelte Plasmadichte und Ionenenergie (für p-i-n Dioden Integration) benötigt. Weitere Forschungsprojekte erfordern eine aktive Helium-Rückseitenkühlung (für nanophotonische Wellenleiter), um "Fließen" oder Verbrennen des Elektronenstrahl-Resists (E-Beam Lack) zu verhindern. Bei zusätzlichen Projekten sowie bei der Nachbearbeitung von FIB-implantierten Defekten hat die Erhaltung der Kristallqualität oberste Priorität. Hochenergetischer Ionenbeschuss würde das Gitter schädigen und die optische Kohärenz der Farbzentren zerstören.…

Paziņojuma vēsture

Iepirkuma procedūras laika skala

Sekojiet galvenajiem posmiem un atjauninājumiem, kas saistīti ar šo iepirkuma procedūru.

  1. Konkursa paziņojums Skatītais paziņojums

    · TED 590353-2026

    Atvērt oficiālo paziņojumu ↗
  2. Rezultātu paziņojums

    · TED 654317-2026

    Skatīt paziņojumu Tenderiva

    Atvērt oficiālo paziņojumu ↗

Dati ir pārstrukturēti vieglākai lasīšanai. Oficiālais paziņojums un iepirkuma dokumenti vienmēr ir noteicošie.

Avots un uzticamība

TED · 590353-2026. Pārbaudīts 2026. gada 28. aug. 08:05.

Dati ir pārstrukturēti vieglākai lasīšanai. Oficiālais paziņojums un iepirkuma dokumenti vienmēr ir noteicošie.

Ziņot par kļūdu e-pastā