Oficiālais kopsavilkums · Deutsch
Kas tiek iepirkts?
Für die aktuell am Lehrstuhl durchzuführenden Projekte ist die Herstellung freistehender Wellenleiter mittels "Faraday Cage Etching" zentral. Dieser komplexe Prozess erfordert zwei völlig unterschiedliche Ätzregime in derselben Kammer. Entsprechend werden Entkoppelte Plasmadichte und Ionenenergie (für p-i-n Dioden Integration) benötigt. Weitere Forschungsprojekte erfordern eine aktive Helium-Rückseitenkühlung (für nanophotonische Wellenleiter), um "Fließen" oder Verbrennen des Elektronenstrahl-Resists (E-Beam Lack) zu verhindern. Bei zusätzlichen Projekten sowie bei der Nachbearbeitung von FIB-implantierten Defekten hat die Erhaltung der Kristallqualität oberste Priorität. Hochenergetischer Ionenbeschuss würde das Gitter schädigen und die optische Kohärenz der Farbzentren zerstören. Wichti
Paziņojuma vēsture
Iepirkuma procedūras laika skala
Sekojiet galvenajiem posmiem un atjauninājumiem, kas saistīti ar šo iepirkuma procedūru.
Cits saistīts paziņojums vēl nav identificēts.
Laika skala ir izveidota no savstarpēji saistītiem oficiālajiem TED paziņojumiem. Noteicošie ir oficiālie dokumenti.
Avots un uzticamība
Avots: oficiālais TED paziņojums 590353-2026, pēdējā pārbaude 2026. gada 28. aug. 08:05. Noteicošā ir sākotnējā publikācija.
Dati ir pārstrukturēti vieglākai lasīšanai. Oficiālais paziņojums un iepirkuma dokumenti vienmēr ir noteicošie.