Atvērts Avots · Valoda: Deutsch

Vācija · Elektriskās mašīnas, aparāti un patēriņa materiāli

Oficiālais TED nosaukums · Deutsch

Reaktives Ionenätzen

Freistaat Bayern, vertreten durch die Universität Erlangen-Nürnberg · Vācija

Termiņš 2026. gada 11. sept. 21:59 UTC
Paredzamā vērtībaNav paziņots
Publicēts2026. gada 27. aug.
Atvērt oficiālo paziņojumu ↗

Oficiālais kopsavilkums · Deutsch

Kas tiek iepirkts?

Für die aktuell am Lehrstuhl durchzuführenden Projekte ist die Herstellung freistehender Wellenleiter mittels "Faraday Cage Etching" zentral. Dieser komplexe Prozess erfordert zwei völlig unterschiedliche Ätzregime in derselben Kammer. Entsprechend werden Entkoppelte Plasmadichte und Ionenenergie (für p-i-n Dioden Integration) benötigt. Weitere Forschungsprojekte erfordern eine aktive Helium-Rückseitenkühlung (für nanophotonische Wellenleiter), um "Fließen" oder Verbrennen des Elektronenstrahl-Resists (E-Beam Lack) zu verhindern. Bei zusätzlichen Projekten sowie bei der Nachbearbeitung von FIB-implantierten Defekten hat die Erhaltung der Kristallqualität oberste Priorität. Hochenergetischer Ionenbeschuss würde das Gitter schädigen und die optische Kohärenz der Farbzentren zerstören. Wichti

Paziņojuma vēsture

Iepirkuma procedūras laika skala

Sekojiet galvenajiem posmiem un atjauninājumiem, kas saistīti ar šo iepirkuma procedūru.

Cits saistīts paziņojums vēl nav identificēts.

  1. Konkursa paziņojums Pašreizējais paziņojums

    · TED 590353-2026

    Atvērt oficiālo paziņojumu ↗

Laika skala ir izveidota no savstarpēji saistītiem oficiālajiem TED paziņojumiem. Noteicošie ir oficiālie dokumenti.

Avots un uzticamība

Avots: oficiālais TED paziņojums 590353-2026, pēdējā pārbaude 2026. gada 28. aug. 08:05. Noteicošā ir sākotnējā publikācija.

Dati ir pārstrukturēti vieglākai lasīšanai. Oficiālais paziņojums un iepirkuma dokumenti vienmēr ir noteicošie.