Öppen Källa · Språk: Deutsch

Tyskland · Elektriska maskiner, apparater och förbrukningsvaror

Officiell TED-titel · Deutsch

Reaktives Ionenätzen

Freistaat Bayern, vertreten durch die Universität Erlangen-Nürnberg · Tyskland

Tidsfrist 11 sep. 2026 21:59 UTC
Uppskattat värdeEj angivet
Publicerat27 aug. 2026
Öppna officiellt meddelande ↗

Officiell sammanfattning · Deutsch

Vad upphandlas?

Für die aktuell am Lehrstuhl durchzuführenden Projekte ist die Herstellung freistehender Wellenleiter mittels "Faraday Cage Etching" zentral. Dieser komplexe Prozess erfordert zwei völlig unterschiedliche Ätzregime in derselben Kammer. Entsprechend werden Entkoppelte Plasmadichte und Ionenenergie (für p-i-n Dioden Integration) benötigt. Weitere Forschungsprojekte erfordern eine aktive Helium-Rückseitenkühlung (für nanophotonische Wellenleiter), um "Fließen" oder Verbrennen des Elektronenstrahl-Resists (E-Beam Lack) zu verhindern. Bei zusätzlichen Projekten sowie bei der Nachbearbeitung von FIB-implantierten Defekten hat die Erhaltung der Kristallqualität oberste Priorität. Hochenergetischer Ionenbeschuss würde das Gitter schädigen und die optische Kohärenz der Farbzentren zerstören. Wichti

Meddelandehistorik

Tidslinje för upphandlingsförfarandet

Följ de viktigaste stegen och uppdateringarna som är kopplade till det här upphandlingsförfarandet.

Inget annat relaterat meddelande har ännu identifierats.

  1. Upphandlingsannons Aktuellt meddelande

    · TED 590353-2026

    Öppna officiellt meddelande ↗

Tidslinjen har sammanställts från länkade officiella TED-meddelanden. De officiella dokumenten gäller.

Källa och tillförlitlighet

Källa: officiellt TED-meddelande 590353-2026, senast kontrollerat 28 aug. 2026 08:05. Originalpubliceringen är fortsatt styrande.

Uppgifterna har strukturerats om för att bli lättare att läsa. Det officiella meddelandet och upphandlingsdokumenten gäller alltid.