Rezumat oficial · Deutsch
Ce se achiziționează?
Für die aktuell am Lehrstuhl durchzuführenden Projekte ist die Herstellung freistehender Wellenleiter mittels "Faraday Cage Etching" zentral. Dieser komplexe Prozess erfordert zwei völlig unterschiedliche Ätzregime in derselben Kammer. Entsprechend werden Entkoppelte Plasmadichte und Ionenenergie (für p-i-n Dioden Integration) benötigt. Weitere Forschungsprojekte erfordern eine aktive Helium-Rückseitenkühlung (für nanophotonische Wellenleiter), um "Fließen" oder Verbrennen des Elektronenstrahl-Resists (E-Beam Lack) zu verhindern. Bei zusätzlichen Projekten sowie bei der Nachbearbeitung von FIB-implantierten Defekten hat die Erhaltung der Kristallqualität oberste Priorität. Hochenergetischer Ionenbeschuss würde das Gitter schädigen und die optische Kohärenz der Farbzentren zerstören. Wichti
Istoricul anunțului
Cronologia procedurii de achiziție
Urmăriți principalele etape și actualizări legate de această procedură de achiziție.
Nu a fost identificat încă niciun alt anunț asociat.
Cronologia a fost alcătuită din anunțurile oficiale TED asociate. Documentele oficiale prevalează.
Sursă și fiabilitate
Sursă: anunțul oficial TED 590353-2026, ultima verificare: 28 aug. 2026, 08:05. Publicarea originală rămâne determinantă.
Datele sunt restructurate pentru o lectură mai ușoară. Anunțul oficial și documentele achiziției prevalează întotdeauna.