Lezárt TED · Forrás · Nyelv: Deutsch

Újabb közzététel érhető el.
Eredményhirdetmény · TED 654317-2026 ·

Hirdetmény megtekintése a Tenderiván

Németország · Elektromos gépek, készülékek és fogyóeszközök

Hivatalos cím · Deutsch

Reaktives Ionenätzen

Freistaat Bayern, vertreten durch die Universität Erlangen-Nürnberg · Németország

Az e néven megjelent hirdetmények
Hivatalos összefoglaló · Deutsch

Für die aktuell am Lehrstuhl durchzuführenden Projekte ist die Herstellung freistehender Wellenleiter mittels "Faraday Cage Etching" zentral. Dieser komplexe Prozess erfordert zwei völlig unterschiedliche Ätzregime in derselben Kammer. Entsprechend werden Entkoppelte Plasmadichte und Ionenenergie (für p-i-n Dioden Integration) benötigt. Weitere Forschungsprojekte erfordern eine aktive Helium-Rückseitenkühlung (für nanophotonische Wellenleiter), um…

Mi a beszerzés tárgya?
Határidő 2026. szept. 11. 23:59 UTC+02:00
Becsült értékNincs megadva
Közzétéve2026. aug. 27.
Hivatalos hirdetmény megnyitása ↗

Hivatalos összefoglaló · Deutsch

Mi a beszerzés tárgya?

Für die aktuell am Lehrstuhl durchzuführenden Projekte ist die Herstellung freistehender Wellenleiter mittels "Faraday Cage Etching" zentral. Dieser komplexe Prozess erfordert zwei völlig unterschiedliche Ätzregime in derselben Kammer. Entsprechend werden Entkoppelte Plasmadichte und Ionenenergie (für p-i-n Dioden Integration) benötigt. Weitere Forschungsprojekte erfordern eine aktive Helium-Rückseitenkühlung (für nanophotonische Wellenleiter), um "Fließen" oder Verbrennen des Elektronenstrahl-Resists (E-Beam Lack) zu verhindern. Bei zusätzlichen Projekten sowie bei der Nachbearbeitung von FIB-implantierten Defekten hat die Erhaltung der Kristallqualität oberste Priorität. Hochenergetischer Ionenbeschuss würde das Gitter schädigen und die optische Kohärenz der Farbzentren zerstören.…

A hirdetmény előzményei

A közbeszerzési eljárás idővonala

Kövesse a közbeszerzési eljáráshoz kapcsolódó főbb szakaszokat és frissítéseket.

  1. Versenyfelhívás Megtekintett hirdetmény

    · TED 590353-2026

    Hivatalos hirdetmény megnyitása ↗
  2. Eredményhirdetmény

    · TED 654317-2026

    Hirdetmény megtekintése a Tenderiván

    Hivatalos hirdetmény megnyitása ↗

Az adatokat a könnyebb olvashatóság érdekében átrendezzük. Mindig a hivatalos hirdetmény és a közbeszerzési dokumentumok az irányadók.

Forrás és megbízhatóság

TED · 590353-2026. Ellenőrizve: 2026. aug. 28. 8:05.

Az adatokat a könnyebb olvashatóság érdekében átrendezzük. Mindig a hivatalos hirdetmény és a közbeszerzési dokumentumok az irányadók.

Hiba bejelentése e-mailben