Hivatalos összefoglaló · Deutsch
Mi a beszerzés tárgya?
Für die aktuell am Lehrstuhl durchzuführenden Projekte ist die Herstellung freistehender Wellenleiter mittels "Faraday Cage Etching" zentral. Dieser komplexe Prozess erfordert zwei völlig unterschiedliche Ätzregime in derselben Kammer. Entsprechend werden Entkoppelte Plasmadichte und Ionenenergie (für p-i-n Dioden Integration) benötigt. Weitere Forschungsprojekte erfordern eine aktive Helium-Rückseitenkühlung (für nanophotonische Wellenleiter), um "Fließen" oder Verbrennen des Elektronenstrahl-Resists (E-Beam Lack) zu verhindern. Bei zusätzlichen Projekten sowie bei der Nachbearbeitung von FIB-implantierten Defekten hat die Erhaltung der Kristallqualität oberste Priorität. Hochenergetischer Ionenbeschuss würde das Gitter schädigen und die optische Kohärenz der Farbzentren zerstören. Wichti
A hirdetmény előzményei
A közbeszerzési eljárás idővonala
Kövesse a közbeszerzési eljáráshoz kapcsolódó főbb szakaszokat és frissítéseket.
Egyelőre nem azonosítottunk más kapcsolódó hirdetményt.
Az idővonal a kapcsolódó hivatalos TED-hirdetmények alapján készült. A hivatalos dokumentumok az irányadók.
Forrás és megbízhatóság
Forrás: hivatalos TED-hirdetmény, 590353-2026. Utoljára ellenőrizve: 2026. aug. 28. 8:05. Az eredeti közzététel marad az irányadó.
Az adatokat a könnyebb olvashatóság érdekében átrendezzük. Mindig a hivatalos hirdetmény és a közbeszerzési dokumentumok az irányadók.