Oscailte Foinse · Teanga: Deutsch

an Ghearmáin · Innealra, gaireas agus tomhaltáin leictreacha

Teideal oifigiúil TED · Deutsch

Reaktives Ionenätzen

Freistaat Bayern, vertreten durch die Universität Erlangen-Nürnberg · an Ghearmáin

Spriocdháta 11 MFómh 2026 21:59 UTC
Luach meastaGan fógairt
Foilsithe27 Lún 2026
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Achoimre oifigiúil · Deutsch

Cad atá á sholáthar?

Für die aktuell am Lehrstuhl durchzuführenden Projekte ist die Herstellung freistehender Wellenleiter mittels "Faraday Cage Etching" zentral. Dieser komplexe Prozess erfordert zwei völlig unterschiedliche Ätzregime in derselben Kammer. Entsprechend werden Entkoppelte Plasmadichte und Ionenenergie (für p-i-n Dioden Integration) benötigt. Weitere Forschungsprojekte erfordern eine aktive Helium-Rückseitenkühlung (für nanophotonische Wellenleiter), um "Fließen" oder Verbrennen des Elektronenstrahl-Resists (E-Beam Lack) zu verhindern. Bei zusätzlichen Projekten sowie bei der Nachbearbeitung von FIB-implantierten Defekten hat die Erhaltung der Kristallqualität oberste Priorität. Hochenergetischer Ionenbeschuss würde das Gitter schädigen und die optische Kohärenz der Farbzentren zerstören. Wichti

Stair na bhfógraí

Amlíne an tsoláthair

Lean na príomhchéimeanna agus na nuashonruithe a bhaineann leis an nós imeachta soláthair seo.

Níor sainaithníodh aon fhógra gaolmhar eile go fóill.

  1. Fógra comórtais Fógra reatha

    · TED 590353-2026

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Cuireadh an amlíne le chéile ó fhógraí oifigiúla TED atá nasctha. Is iad na doiciméid oifigiúla atá i réim.

Foinse agus iontaofacht

Foinse: fógra oifigiúil TED 590353-2026, seiceáilte go deireanach an 28 Lún 2026 08:05. Is í an bhunfhoilseachán an fhoinse údarásach.

Tá na sonraí athstruchtúrtha chun iad a léamh níos éasca. Is iad an fógra oifigiúil agus na doiciméid soláthair a bhíonn i réim i gcónaí.