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Aankondiging van het resultaat · TED 654317-2026 ·

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Duitsland · Elektrische machines, toestellen en verbruiksartikelen

Officiële titel · Deutsch

Reaktives Ionenätzen

Freistaat Bayern, vertreten durch die Universität Erlangen-Nürnberg · Duitsland

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Officiële samenvatting · Deutsch

Für die aktuell am Lehrstuhl durchzuführenden Projekte ist die Herstellung freistehender Wellenleiter mittels "Faraday Cage Etching" zentral. Dieser komplexe Prozess erfordert zwei völlig unterschiedliche Ätzregime in derselben Kammer. Entsprechend werden Entkoppelte Plasmadichte und Ionenenergie (für p-i-n Dioden Integration) benötigt. Weitere Forschungsprojekte erfordern eine aktive Helium-Rückseitenkühlung (für nanophotonische Wellenleiter), um…

Wat wordt ingekocht?
Termijn 11 sep. 2026 23:59 UTC+02:00
Geraamde waardeNiet vermeld
Gepubliceerd27 aug. 2026
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Officiële samenvatting · Deutsch

Wat wordt ingekocht?

Für die aktuell am Lehrstuhl durchzuführenden Projekte ist die Herstellung freistehender Wellenleiter mittels "Faraday Cage Etching" zentral. Dieser komplexe Prozess erfordert zwei völlig unterschiedliche Ätzregime in derselben Kammer. Entsprechend werden Entkoppelte Plasmadichte und Ionenenergie (für p-i-n Dioden Integration) benötigt. Weitere Forschungsprojekte erfordern eine aktive Helium-Rückseitenkühlung (für nanophotonische Wellenleiter), um "Fließen" oder Verbrennen des Elektronenstrahl-Resists (E-Beam Lack) zu verhindern. Bei zusätzlichen Projekten sowie bei der Nachbearbeitung von FIB-implantierten Defekten hat die Erhaltung der Kristallqualität oberste Priorität. Hochenergetischer Ionenbeschuss würde das Gitter schädigen und die optische Kohärenz der Farbzentren zerstören.…

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Tijdlijn van de aanbestedingsprocedure

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  1. Aankondiging van opdracht Bekeken aankondiging

    · TED 590353-2026

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  2. Aankondiging van het resultaat

    · TED 654317-2026

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Bron en betrouwbaarheid

TED · 590353-2026. Gecontroleerd op 28 aug. 2026 08:05.

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