Aberto Fonte · Idioma: Deutsch

Alemanha · Máquinas, aparelhos e consumíveis elétricos

Título oficial do TED · Deutsch

Reaktives Ionenätzen

Freistaat Bayern, vertreten durch die Universität Erlangen-Nürnberg · Alemanha

Prazo 11 de set de 2026 21:59 UTC
Valor estimadoNão indicado
Publicado27 de ago de 2026
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Resumo oficial · Deutsch

O que está a ser adquirido?

Für die aktuell am Lehrstuhl durchzuführenden Projekte ist die Herstellung freistehender Wellenleiter mittels "Faraday Cage Etching" zentral. Dieser komplexe Prozess erfordert zwei völlig unterschiedliche Ätzregime in derselben Kammer. Entsprechend werden Entkoppelte Plasmadichte und Ionenenergie (für p-i-n Dioden Integration) benötigt. Weitere Forschungsprojekte erfordern eine aktive Helium-Rückseitenkühlung (für nanophotonische Wellenleiter), um "Fließen" oder Verbrennen des Elektronenstrahl-Resists (E-Beam Lack) zu verhindern. Bei zusätzlichen Projekten sowie bei der Nachbearbeitung von FIB-implantierten Defekten hat die Erhaltung der Kristallqualität oberste Priorität. Hochenergetischer Ionenbeschuss würde das Gitter schädigen und die optische Kohärenz der Farbzentren zerstören. Wichti

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    · TED 590353-2026

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Fonte e fiabilidade

Fonte: anúncio oficial do TED 590353-2026, verificado pela última vez em 28 de ago de 2026 08:05. A publicação original continua a ser a referência.

Os dados são reorganizados para facilitar a leitura. O anúncio oficial e os documentos do concurso prevalecem sempre.