Resumo oficial · Deutsch
O que está a ser adquirido?
Für die aktuell am Lehrstuhl durchzuführenden Projekte ist die Herstellung freistehender Wellenleiter mittels "Faraday Cage Etching" zentral. Dieser komplexe Prozess erfordert zwei völlig unterschiedliche Ätzregime in derselben Kammer. Entsprechend werden Entkoppelte Plasmadichte und Ionenenergie (für p-i-n Dioden Integration) benötigt. Weitere Forschungsprojekte erfordern eine aktive Helium-Rückseitenkühlung (für nanophotonische Wellenleiter), um "Fließen" oder Verbrennen des Elektronenstrahl-Resists (E-Beam Lack) zu verhindern. Bei zusätzlichen Projekten sowie bei der Nachbearbeitung von FIB-implantierten Defekten hat die Erhaltung der Kristallqualität oberste Priorität. Hochenergetischer Ionenbeschuss würde das Gitter schädigen und die optische Kohärenz der Farbzentren zerstören. Wichti
Histórico do anúncio
Cronologia do procedimento de contratação pública
Acompanhe as principais etapas e atualizações associadas a este procedimento de contratação pública.
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A cronologia foi compilada a partir de anúncios oficiais TED relacionados. Os documentos oficiais prevalecem.
Fonte e fiabilidade
Fonte: anúncio oficial do TED 590353-2026, verificado pela última vez em 28 de ago de 2026 08:05. A publicação original continua a ser a referência.
Os dados são reorganizados para facilitar a leitura. O anúncio oficial e os documentos do concurso prevalecem sempre.