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Германия · Електрически машини, апарати и консумативи

Официално заглавие · Deutsch

Reaktives Ionenätzen

Freistaat Bayern, vertreten durch die Universität Erlangen-Nürnberg · Германия

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Официално резюме · Deutsch

Für die aktuell am Lehrstuhl durchzuführenden Projekte ist die Herstellung freistehender Wellenleiter mittels "Faraday Cage Etching" zentral. Dieser komplexe Prozess erfordert zwei völlig unterschiedliche Ätzregime in derselben Kammer. Entsprechend werden Entkoppelte Plasmadichte und Ionenenergie (für p-i-n Dioden Integration) benötigt. Weitere Forschungsprojekte erfordern eine aktive Helium-Rückseitenkühlung (für nanophotonische Wellenleiter), um…

Какво се възлага?
Краен срок 11.09.2026 г. 23:59 UTC+02:00
Прогнозна стойностНе е обявено
Публикувано27.08.2026 г.
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Официално резюме · Deutsch

Какво се възлага?

Für die aktuell am Lehrstuhl durchzuführenden Projekte ist die Herstellung freistehender Wellenleiter mittels "Faraday Cage Etching" zentral. Dieser komplexe Prozess erfordert zwei völlig unterschiedliche Ätzregime in derselben Kammer. Entsprechend werden Entkoppelte Plasmadichte und Ionenenergie (für p-i-n Dioden Integration) benötigt. Weitere Forschungsprojekte erfordern eine aktive Helium-Rückseitenkühlung (für nanophotonische Wellenleiter), um "Fließen" oder Verbrennen des Elektronenstrahl-Resists (E-Beam Lack) zu verhindern. Bei zusätzlichen Projekten sowie bei der Nachbearbeitung von FIB-implantierten Defekten hat die Erhaltung der Kristallqualität oberste Priorität. Hochenergetischer Ionenbeschuss würde das Gitter schädigen und die optische Kohärenz der Farbzentren zerstören.…

История на обявлението

Хронология на процедурата за възлагане

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  1. Обявление за състезателна процедура Разглеждано обявление

    · TED 590353-2026

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    · TED 654317-2026

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Източник и надеждност

TED · 590353-2026. Проверено на 28.08.2026 г., 8:05 ч..

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