Отворена Източник · Език: Deutsch

Германия · Електрически машини, апарати и консумативи

Официално заглавие в TED · Deutsch

Reaktives Ionenätzen

Freistaat Bayern, vertreten durch die Universität Erlangen-Nürnberg · Германия

Краен срок 11.09.2026 г., 21:59 ч. UTC
Прогнозна стойностНе е обявено
Публикувано27.08.2026 г.
Отворете официалното обявление ↗

Официално резюме · Deutsch

Какво се възлага?

Für die aktuell am Lehrstuhl durchzuführenden Projekte ist die Herstellung freistehender Wellenleiter mittels "Faraday Cage Etching" zentral. Dieser komplexe Prozess erfordert zwei völlig unterschiedliche Ätzregime in derselben Kammer. Entsprechend werden Entkoppelte Plasmadichte und Ionenenergie (für p-i-n Dioden Integration) benötigt. Weitere Forschungsprojekte erfordern eine aktive Helium-Rückseitenkühlung (für nanophotonische Wellenleiter), um "Fließen" oder Verbrennen des Elektronenstrahl-Resists (E-Beam Lack) zu verhindern. Bei zusätzlichen Projekten sowie bei der Nachbearbeitung von FIB-implantierten Defekten hat die Erhaltung der Kristallqualität oberste Priorität. Hochenergetischer Ionenbeschuss würde das Gitter schädigen und die optische Kohärenz der Farbzentren zerstören. Wichti

История на обявлението

Хронология на процедурата за възлагане

Проследете основните етапи и актуализации, свързани с тази процедура за възлагане.

Все още не е открито друго свързано обявление.

  1. Обявление за състезателна процедура Текущо обявление

    · TED 590353-2026

    Отворете официалното обявление ↗

Хронологията е съставена от свързани официални обявления в TED. Официалните документи имат предимство.

Източник и надеждност

Източник: официално обявление в TED 590353-2026, последно проверено на 28.08.2026 г., 8:05 ч.. Оригиналната публикация остава меродавна.

Данните са преструктурирани за по-лесно четене. Официалното обявление и документите винаги имат предимство.