Offizielle Zusammenfassung
Was wird beschafft?
Für die aktuell am Lehrstuhl durchzuführenden Projekte ist die Herstellung freistehender Wellenleiter mittels "Faraday Cage Etching" zentral. Dieser komplexe Prozess erfordert zwei völlig unterschiedliche Ätzregime in derselben Kammer. Entsprechend werden Entkoppelte Plasmadichte und Ionenenergie (für p-i-n Dioden Integration) benötigt. Weitere Forschungsprojekte erfordern eine aktive Helium-Rückseitenkühlung (für nanophotonische Wellenleiter), um "Fließen" oder Verbrennen des Elektronenstrahl-Resists (E-Beam Lack) zu verhindern. Bei zusätzlichen Projekten sowie bei der Nachbearbeitung von FIB-implantierten Defekten hat die Erhaltung der Kristallqualität oberste Priorität. Hochenergetischer Ionenbeschuss würde das Gitter schädigen und die optische Kohärenz der Farbzentren zerstören. Wichti
Bekanntmachungsverlauf
Zeitlicher Ablauf des Vergabeverfahrens
Verfolgen Sie die wichtigsten Phasen und Aktualisierungen dieses Vergabeverfahrens.
Bisher wurde keine weitere zugehörige Bekanntmachung ermittelt.
Der Zeitverlauf wurde aus verknüpften amtlichen TED-Bekanntmachungen zusammengestellt. Maßgeblich sind die amtlichen Dokumente.
Quelle und Verlässlichkeit
Quelle: amtliche TED-Bekanntmachung 590353-2026, zuletzt geprüft am 28.08.2026, 08:05. Maßgeblich bleibt die Originalveröffentlichung.
Die Daten werden für eine leichtere Lesbarkeit neu strukturiert. Maßgeblich sind stets die amtliche Bekanntmachung und die Vergabeunterlagen.