Avatud Allikas · Keel: Deutsch

Saksamaa · Elektrimasinad, -seadmed ja kulumaterjalid

Ametlik TED-i pealkiri · Deutsch

Reaktives Ionenätzen

Freistaat Bayern, vertreten durch die Universität Erlangen-Nürnberg · Saksamaa

Tähtaeg 11. sept 2026 21:59 UTC
Eeldatav maksumusTeatamata
Avaldatud27. aug 2026
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Ametlik kokkuvõte · Deutsch

Mida hangitakse?

Für die aktuell am Lehrstuhl durchzuführenden Projekte ist die Herstellung freistehender Wellenleiter mittels "Faraday Cage Etching" zentral. Dieser komplexe Prozess erfordert zwei völlig unterschiedliche Ätzregime in derselben Kammer. Entsprechend werden Entkoppelte Plasmadichte und Ionenenergie (für p-i-n Dioden Integration) benötigt. Weitere Forschungsprojekte erfordern eine aktive Helium-Rückseitenkühlung (für nanophotonische Wellenleiter), um "Fließen" oder Verbrennen des Elektronenstrahl-Resists (E-Beam Lack) zu verhindern. Bei zusätzlichen Projekten sowie bei der Nachbearbeitung von FIB-implantierten Defekten hat die Erhaltung der Kristallqualität oberste Priorität. Hochenergetischer Ionenbeschuss würde das Gitter schädigen und die optische Kohärenz der Farbzentren zerstören. Wichti

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  1. Hanketeade Praegune teade

    · TED 590353-2026

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Ajajoon on koostatud seotud ametlike TED-i teadete põhjal. Ametlikud dokumendid on määravad.

Allikas ja usaldusväärsus

Allikas: ametlik TEDi teade 590353-2026, viimati kontrollitud 28. aug 2026 08:05. Määravaks jääb algne väljaanne.

Andmed on lihtsamaks lugemiseks ümber struktureeritud. Alati on ülimuslikud ametlik teade ja hankedokumendid.