Avoin Lähde · Kieli: Deutsch

Saksa · Sähkökoneet, laitteet ja kulutustarvikkeet

Virallinen TED-otsikko · Deutsch

Reaktives Ionenätzen

Freistaat Bayern, vertreten durch die Universität Erlangen-Nürnberg · Saksa

Määräaika 11.9.2026 klo 21.59 UTC
Arvioitu arvoEi ilmoitettu
Julkaistu27.8.2026
Avaa virallinen ilmoitus ↗

Virallinen tiivistelmä · Deutsch

Mitä hankitaan?

Für die aktuell am Lehrstuhl durchzuführenden Projekte ist die Herstellung freistehender Wellenleiter mittels "Faraday Cage Etching" zentral. Dieser komplexe Prozess erfordert zwei völlig unterschiedliche Ätzregime in derselben Kammer. Entsprechend werden Entkoppelte Plasmadichte und Ionenenergie (für p-i-n Dioden Integration) benötigt. Weitere Forschungsprojekte erfordern eine aktive Helium-Rückseitenkühlung (für nanophotonische Wellenleiter), um "Fließen" oder Verbrennen des Elektronenstrahl-Resists (E-Beam Lack) zu verhindern. Bei zusätzlichen Projekten sowie bei der Nachbearbeitung von FIB-implantierten Defekten hat die Erhaltung der Kristallqualität oberste Priorität. Hochenergetischer Ionenbeschuss würde das Gitter schädigen und die optische Kohärenz der Farbzentren zerstören. Wichti

Ilmoitushistoria

Hankintamenettelyn aikajana

Seuraa tähän hankintamenettelyyn liittyviä päävaiheita ja päivityksiä.

Muita tähän liittyviä ilmoituksia ei ole vielä tunnistettu.

  1. Hankintailmoitus Nykyinen ilmoitus

    · TED 590353-2026

    Avaa virallinen ilmoitus ↗

Aikajana on koottu toisiinsa liittyvistä virallisista TED-ilmoituksista. Viralliset asiakirjat ovat ensisijaisia.

Lähde ja luotettavuus

Lähde: virallinen TED-ilmoitus 590353-2026, tarkistettu viimeksi 28.8.2026 klo 8.05. Alkuperäinen julkaisu on edelleen ratkaiseva.

Tiedot on jäsennetty helpommin luettaviksi. Virallinen ilmoitus ja hankinta-asiakirjat ovat aina ratkaisevia.