Virallinen tiivistelmä · Deutsch
Mitä hankitaan?
Für die aktuell am Lehrstuhl durchzuführenden Projekte ist die Herstellung freistehender Wellenleiter mittels "Faraday Cage Etching" zentral. Dieser komplexe Prozess erfordert zwei völlig unterschiedliche Ätzregime in derselben Kammer. Entsprechend werden Entkoppelte Plasmadichte und Ionenenergie (für p-i-n Dioden Integration) benötigt. Weitere Forschungsprojekte erfordern eine aktive Helium-Rückseitenkühlung (für nanophotonische Wellenleiter), um "Fließen" oder Verbrennen des Elektronenstrahl-Resists (E-Beam Lack) zu verhindern. Bei zusätzlichen Projekten sowie bei der Nachbearbeitung von FIB-implantierten Defekten hat die Erhaltung der Kristallqualität oberste Priorität. Hochenergetischer Ionenbeschuss würde das Gitter schädigen und die optische Kohärenz der Farbzentren zerstören. Wichti
Ilmoitushistoria
Hankintamenettelyn aikajana
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Aikajana on koottu toisiinsa liittyvistä virallisista TED-ilmoituksista. Viralliset asiakirjat ovat ensisijaisia.
Lähde ja luotettavuus
Lähde: virallinen TED-ilmoitus 590353-2026, tarkistettu viimeksi 28.8.2026 klo 8.05. Alkuperäinen julkaisu on edelleen ratkaiseva.
Tiedot on jäsennetty helpommin luettaviksi. Virallinen ilmoitus ja hankinta-asiakirjat ovat aina ratkaisevia.