Otvoreno Izvor · Jezik: Deutsch

Njemačka · Električni strojevi, uređaji i potrošni materijal

Službeni naslov na TED-u · Deutsch

Reaktives Ionenätzen

Freistaat Bayern, vertreten durch die Universität Erlangen-Nürnberg · Njemačka

Rok 11. ruj 2026. 21:59 UTC
Procijenjena vrijednostNije objavljeno
Objavljeno27. kol 2026.
Otvorite službenu obavijest ↗

Službeni sažetak · Deutsch

Što se nabavlja?

Für die aktuell am Lehrstuhl durchzuführenden Projekte ist die Herstellung freistehender Wellenleiter mittels "Faraday Cage Etching" zentral. Dieser komplexe Prozess erfordert zwei völlig unterschiedliche Ätzregime in derselben Kammer. Entsprechend werden Entkoppelte Plasmadichte und Ionenenergie (für p-i-n Dioden Integration) benötigt. Weitere Forschungsprojekte erfordern eine aktive Helium-Rückseitenkühlung (für nanophotonische Wellenleiter), um "Fließen" oder Verbrennen des Elektronenstrahl-Resists (E-Beam Lack) zu verhindern. Bei zusätzlichen Projekten sowie bei der Nachbearbeitung von FIB-implantierten Defekten hat die Erhaltung der Kristallqualität oberste Priorität. Hochenergetischer Ionenbeschuss würde das Gitter schädigen und die optische Kohärenz der Farbzentren zerstören. Wichti

Povijest obavijesti

Vremenski slijed postupka nabave

Pratite glavne faze i izmjene povezane s ovim postupkom nabave.

Još nije pronađena nijedna druga povezana obavijest.

  1. Obavijest o nadmetanju Trenutačna obavijest

    · TED 590353-2026

    Otvorite službenu obavijest ↗

Vremenski slijed sastavljen je iz povezanih službenih TED obavijesti. Službena dokumentacija uvijek ima prednost.

Izvor i pouzdanost

Izvor: službena TED obavijest 590353-2026, zadnji put provjerena 28. kol 2026. 08:05. Izvorna objava ostaje mjerodavna.

Podaci su preuređeni radi lakšeg čitanja. Službena obavijest i dokumentacija uvijek imaju prednost.