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Alemania · Maquinaria, aparatos y consumibles eléctricos

Título oficial de TED · Deutsch

Reaktives Ionenätzen

Freistaat Bayern, vertreten durch die Universität Erlangen-Nürnberg · Alemania

Plazo 11 sept. 2026 21:59 UTC
Valor estimadoNo indicado
Publicado27 ago. 2026
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Resumen oficial · Deutsch

¿Qué se contrata?

Für die aktuell am Lehrstuhl durchzuführenden Projekte ist die Herstellung freistehender Wellenleiter mittels "Faraday Cage Etching" zentral. Dieser komplexe Prozess erfordert zwei völlig unterschiedliche Ätzregime in derselben Kammer. Entsprechend werden Entkoppelte Plasmadichte und Ionenenergie (für p-i-n Dioden Integration) benötigt. Weitere Forschungsprojekte erfordern eine aktive Helium-Rückseitenkühlung (für nanophotonische Wellenleiter), um "Fließen" oder Verbrennen des Elektronenstrahl-Resists (E-Beam Lack) zu verhindern. Bei zusätzlichen Projekten sowie bei der Nachbearbeitung von FIB-implantierten Defekten hat die Erhaltung der Kristallqualität oberste Priorität. Hochenergetischer Ionenbeschuss würde das Gitter schädigen und die optische Kohärenz der Farbzentren zerstören. Wichti

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    · TED 590353-2026

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Fuente y fiabilidad

Fuente: anuncio oficial de TED 590353-2026, comprobado por última vez el 28 ago. 2026 8:05. La publicación original sigue siendo la referencia.

Los datos se reestructuran para facilitar su lectura. El anuncio oficial y los documentos de contratación siempre prevalecen.