Dámhachtaithe TED · Foinse · Teanga: Deutsch

an Ghearmáin · Innealra, gaireas agus tomhaltáin leictreacha

Teideal oifigiúil · Deutsch

Reaktives Ionenätzen

Freistaat Bayern, vertreten durch die Universität Erlangen-Nürnberg · an Ghearmáin

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Achoimre oifigiúil · Deutsch

Für die aktuell am Lehrstuhl durchzuführenden Projekte ist die Herstellung freistehender Wellenleiter mittels "Faraday Cage Etching" zentral. Dieser komplexe Prozess erfordert zwei völlig unterschiedliche Ätzregime in derselben Kammer. Entsprechend werden Entkoppelte Plasmadichte und Ionenenergie (für p-i-n Dioden Integration) benötigt. Weitere Forschungsprojekte erfordern eine aktive Helium-Rückseitenkühlung (für nanophotonische Wellenleiter), um…

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Foilsithe23 MFómh 2026
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Achoimre oifigiúil · Deutsch

Cad atá á sholáthar?

Für die aktuell am Lehrstuhl durchzuführenden Projekte ist die Herstellung freistehender Wellenleiter mittels "Faraday Cage Etching" zentral. Dieser komplexe Prozess erfordert zwei völlig unterschiedliche Ätzregime in derselben Kammer. Entsprechend werden Entkoppelte Plasmadichte und Ionenenergie (für p-i-n Dioden Integration) benötigt. Weitere Forschungsprojekte erfordern eine aktive Helium-Rückseitenkühlung (für nanophotonische Wellenleiter), um "Fließen" oder Verbrennen des Elektronenstrahl-Resists (E-Beam Lack) zu verhindern. Bei zusätzlichen Projekten sowie bei der Nachbearbeitung von FIB-implantierten Defekten hat die Erhaltung der Kristallqualität oberste Priorität. Hochenergetischer Ionenbeschuss würde das Gitter schädigen und die optische Kohärenz der Farbzentren zerstören.…

Stair na bhfógraí

Amlíne an tsoláthair

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  1. Fógra comórtais

    · TED 590353-2026

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Tá na sonraí athstruchtúrtha chun iad a léamh níos éasca. Is iad an fógra oifigiúil agus na doiciméid soláthair a bhíonn i réim i gcónaí.

Foinse agus iontaofacht

TED · 654317-2026. Seiceáilte ar 23 MFómh 2026 11:05.

Tá na sonraí athstruchtúrtha chun iad a léamh níos éasca. Is iad an fógra oifigiúil agus na doiciméid soláthair a bhíonn i réim i gcónaí.

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