Ανατέθηκε TED · Πηγή · Γλώσσα: Deutsch

Γερμανία · Ηλεκτρικά μηχανήματα, συσκευές και αναλώσιμα

Επίσημος τίτλος · Deutsch

Reaktives Ionenätzen

Freistaat Bayern, vertreten durch die Universität Erlangen-Nürnberg · Γερμανία

Δείτε προκηρύξεις με αυτό το όνομα
Επίσημη περίληψη · Deutsch

Für die aktuell am Lehrstuhl durchzuführenden Projekte ist die Herstellung freistehender Wellenleiter mittels "Faraday Cage Etching" zentral. Dieser komplexe Prozess erfordert zwei völlig unterschiedliche Ätzregime in derselben Kammer. Entsprechend werden Entkoppelte Plasmadichte und Ionenenergie (für p-i-n Dioden Integration) benötigt. Weitere Forschungsprojekte erfordern eine aktive Helium-Rückseitenkühlung (für nanophotonische Wellenleiter), um…

Τι αποτελεί αντικείμενο της σύμβασης;
Προθεσμία Δεν ανακοινώθηκε
Εκτιμώμενη αξίαΔεν ανακοινώθηκε
Δημοσιεύθηκε23 Σεπ 2026
Άνοιγμα επίσημης προκήρυξης ↗

Επίσημη περίληψη · Deutsch

Τι αποτελεί αντικείμενο της σύμβασης;

Für die aktuell am Lehrstuhl durchzuführenden Projekte ist die Herstellung freistehender Wellenleiter mittels "Faraday Cage Etching" zentral. Dieser komplexe Prozess erfordert zwei völlig unterschiedliche Ätzregime in derselben Kammer. Entsprechend werden Entkoppelte Plasmadichte und Ionenenergie (für p-i-n Dioden Integration) benötigt. Weitere Forschungsprojekte erfordern eine aktive Helium-Rückseitenkühlung (für nanophotonische Wellenleiter), um "Fließen" oder Verbrennen des Elektronenstrahl-Resists (E-Beam Lack) zu verhindern. Bei zusätzlichen Projekten sowie bei der Nachbearbeitung von FIB-implantierten Defekten hat die Erhaltung der Kristallqualität oberste Priorität. Hochenergetischer Ionenbeschuss würde das Gitter schädigen und die optische Kohärenz der Farbzentren zerstören.…

Ιστορικό γνωστοποιήσεων

Χρονολόγιο διαδικασίας σύναψης σύμβασης

Παρακολουθήστε τα κύρια στάδια και τις ενημερώσεις που συνδέονται με αυτή τη διαδικασία σύναψης σύμβασης.

  1. Γνωστοποίηση διαγωνισμού

    · TED 590353-2026

    Προβολή προκήρυξης στο Tenderiva

    Άνοιγμα επίσημης προκήρυξης ↗
  2. Γνωστοποίηση αποτελέσματος Προβαλλόμενη προκήρυξη

    · TED 654317-2026

    Άνοιγμα επίσημης προκήρυξης ↗

Τα δεδομένα έχουν αναδιαρθρωθεί για ευκολότερη ανάγνωση. Η επίσημη προκήρυξη και τα έγγραφα της σύμβασης υπερισχύουν πάντα.

Πηγή και αξιοπιστία

TED · 654317-2026. Ελέγχθηκε στις 23 Σεπ 2026, 11:05 π.μ..

Τα δεδομένα έχουν αναδιαρθρωθεί για ευκολότερη ανάγνωση. Η επίσημη προκήρυξη και τα έγγραφα της σύμβασης υπερισχύουν πάντα.

Αναφορά σφάλματος μέσω email