Oficiálne zhrnutie · English
Čo je predmetom obstarávania?
DTU Nanolab wishes to acquire a high ion density source reactive ion etcher for etching lithium niobate on insulator 150 mm wafer processing. Delivery is expected no later than Q4 2027. We are looking for a highly versatile instrument providing stable etch recipes, capable of etching at both nanometer scale and micrometer scale with precise control of etching depth, typically a few hundreds of nm. The instrument must have state-of-the-art performance in terms of profile control, uniformity, selectivity, and in particu-lar etching sidewall smoothness to achieve low waveguide loss. The Instrument will be installed in the DTU Nanolab cleanroom - a university facility providing a comprehensive suite of micro- and nanofabrication tools.…
Orientačný strojový preklad. Rozhodujúci zostáva oficiálny súhrn.
Oficiálne zhrnutie · English
DTU Nanolab wishes to acquire a high ion density source reactive ion etcher for etching lithium niobate on insulator 150 mm wafer processing. Delivery is expected no later than Q4 2027. We are looking for a highly versatile instrument providing stable etch recipes, capable of etching at both nanometer scale and micrometer scale with precise control of etching depth, typically a few hundreds of nm. The instrument must have state-of-the-art performance in terms of profile control, uniformity, selectivity, and in particu-lar etching sidewall smoothness to achieve low waveguide loss. The Instrument will be installed in the DTU Nanolab cleanroom - a university facility providing a comprehensive suite of micro- and nanofabrication tools.…
História oznámení
Časová os verejného obstarávania
Sledujte hlavné etapy a aktualizácie súvisiace s týmto postupom verejného obstarávania.
Zatiaľ sa nenašlo žiadne ďalšie súvisiace oznámenie.
-
Oznámenie o verejnom obstarávaní Prezerané oznámenie
· TED 628101-2026
Otvoriť oficiálne oznámenie ↗
Údaje sú upravené na ľahšie čítanie. Oficiálne oznámenie a súťažné podklady majú vždy prednosť.
Zdroj a spoľahlivosť
TED · 628101-2026. Overené 11. 9. 2026, 10:05.
Údaje sú upravené na ľahšie čítanie. Oficiálne oznámenie a súťažné podklady majú vždy prednosť.