Rezumat oficial · English
Ce se achiziționează?
DTU Nanolab wishes to acquire a high ion density source reactive ion etcher for etching lithium niobate on insulator 150 mm wafer processing. Delivery is expected no later than Q4 2027. We are looking for a highly versatile instrument providing stable etch recipes, capable of etching at both nanometer scale and micrometer scale with precise control of etching depth, typically a few hundreds of nm. The instrument must have state-of-the-art performance in terms of profile control, uniformity, selectivity, and in particu-lar etching sidewall smoothness to achieve low waveguide loss. The Instrument will be installed in the DTU Nanolab cleanroom - a university facility providing a comprehensive suite of micro- and nanofabrication tools.…
Traducere automată orientativă. Rezumatul oficial rămâne referința.
Rezumat oficial · English
DTU Nanolab wishes to acquire a high ion density source reactive ion etcher for etching lithium niobate on insulator 150 mm wafer processing. Delivery is expected no later than Q4 2027. We are looking for a highly versatile instrument providing stable etch recipes, capable of etching at both nanometer scale and micrometer scale with precise control of etching depth, typically a few hundreds of nm. The instrument must have state-of-the-art performance in terms of profile control, uniformity, selectivity, and in particu-lar etching sidewall smoothness to achieve low waveguide loss. The Instrument will be installed in the DTU Nanolab cleanroom - a university facility providing a comprehensive suite of micro- and nanofabrication tools.…
Istoricul anunțului
Cronologia procedurii de achiziție
Urmăriți principalele etape și actualizări legate de această procedură de achiziție.
Nu a fost identificat încă niciun alt anunț asociat.
Datele sunt restructurate pentru o lectură mai ușoară. Anunțul oficial și documentele achiziției prevalează întotdeauna.
Sursă și fiabilitate
TED · 628101-2026. Verificat la 11 sept. 2026, 10:05.
Datele sunt restructurate pentru o lectură mai ușoară. Anunțul oficial și documentele achiziției prevalează întotdeauna.