Επίσημη περίληψη · English
Τι αποτελεί αντικείμενο της σύμβασης;
DTU Nanolab wishes to acquire a high ion density source reactive ion etcher for etching lithium niobate on insulator 150 mm wafer processing. Delivery is expected no later than Q4 2027. We are looking for a highly versatile instrument providing stable etch recipes, capable of etching at both nanometer scale and micrometer scale with precise control of etching depth, typically a few hundreds of nm. The instrument must have state-of-the-art performance in terms of profile control, uniformity, selectivity, and in particu-lar etching sidewall smoothness to achieve low waveguide loss. The Instrument will be installed in the DTU Nanolab cleanroom - a university facility providing a comprehensive suite of micro- and nanofabrication tools.…
Ενδεικτική αυτόματη μετάφραση. Η επίσημη περίληψη παραμένει η έγκυρη αναφορά.
Επίσημη περίληψη · English
DTU Nanolab wishes to acquire a high ion density source reactive ion etcher for etching lithium niobate on insulator 150 mm wafer processing. Delivery is expected no later than Q4 2027. We are looking for a highly versatile instrument providing stable etch recipes, capable of etching at both nanometer scale and micrometer scale with precise control of etching depth, typically a few hundreds of nm. The instrument must have state-of-the-art performance in terms of profile control, uniformity, selectivity, and in particu-lar etching sidewall smoothness to achieve low waveguide loss. The Instrument will be installed in the DTU Nanolab cleanroom - a university facility providing a comprehensive suite of micro- and nanofabrication tools.…
Ιστορικό γνωστοποιήσεων
Χρονολόγιο διαδικασίας σύναψης σύμβασης
Παρακολουθήστε τα κύρια στάδια και τις ενημερώσεις που συνδέονται με αυτή τη διαδικασία σύναψης σύμβασης.
Δεν έχει ακόμη εντοπιστεί άλλη σχετική γνωστοποίηση.
Τα δεδομένα έχουν αναδιαρθρωθεί για ευκολότερη ανάγνωση. Η επίσημη προκήρυξη και τα έγγραφα της σύμβασης υπερισχύουν πάντα.
Πηγή και αξιοπιστία
TED · 628101-2026. Ελέγχθηκε στις 11 Σεπ 2026, 10:05 π.μ..
Τα δεδομένα έχουν αναδιαρθρωθεί για ευκολότερη ανάγνωση. Η επίσημη προκήρυξη και τα έγγραφα της σύμβασης υπερισχύουν πάντα.