Résumé officiel · English
Quel est l’objet du marché ?
DTU Nanolab wishes to acquire a high ion density source reactive ion etcher for etching lithium niobate on insulator 150 mm wafer processing. Delivery is expected no later than Q4 2027. We are looking for a highly versatile instrument providing stable etch recipes, capable of etching at both nanometer scale and micrometer scale with precise control of etching depth, typically a few hundreds of nm. The instrument must have state-of-the-art performance in terms of profile control, uniformity, selectivity, and in particu-lar etching sidewall smoothness to achieve low waveguide loss. The Instrument will be installed in the DTU Nanolab cleanroom - a university facility providing a comprehensive suite of micro- and nanofabrication tools.…
Traduction automatique indicative. Le résumé officiel reste la référence.
Résumé officiel · English
DTU Nanolab wishes to acquire a high ion density source reactive ion etcher for etching lithium niobate on insulator 150 mm wafer processing. Delivery is expected no later than Q4 2027. We are looking for a highly versatile instrument providing stable etch recipes, capable of etching at both nanometer scale and micrometer scale with precise control of etching depth, typically a few hundreds of nm. The instrument must have state-of-the-art performance in terms of profile control, uniformity, selectivity, and in particu-lar etching sidewall smoothness to achieve low waveguide loss. The Instrument will be installed in the DTU Nanolab cleanroom - a university facility providing a comprehensive suite of micro- and nanofabrication tools.…
Historique de l’avis
Chronologie de la procédure
Suivez les principales étapes et mises à jour liées à cette procédure de passation.
Aucun autre avis lié n’a encore été identifié.
Les données sont restructurées pour en faciliter la lecture. L’avis officiel et les documents du marché font toujours foi.
Source et fiabilité
TED · 628101-2026. Vérifié le 11 sept. 2026 à 10:05.
Les données sont restructurées pour en faciliter la lecture. L’avis officiel et les documents du marché font toujours foi.