Aberto TED · Fonte · Idioma: English

Dinamarca · Máquinas industriais

Título oficial · English

Delivery and installation of a High ion density etcher for lithium niobate on insulator - LiNb03 (LN)

Danmarks Tekniske Universitet - DTU · Dinamarca

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Prazo 15 de out de 2026 21:55 UTC
Valor estimadoNão indicado
Publicado11 de set de 2026
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Resumo oficial · English

O que está a ser adquirido?

DTU Nanolab wishes to acquire a high ion density source reactive ion etcher for etching lithium niobate on insulator 150 mm wafer processing. Delivery is expected no later than Q4 2027. We are looking for a highly versatile instrument providing stable etch recipes, capable of etching at both nanometer scale and micrometer scale with precise control of etching depth, typically a few hundreds of nm. The instrument must have state-of-the-art performance in terms of profile control, uniformity, selectivity, and in particu-lar etching sidewall smoothness to achieve low waveguide loss. The Instrument will be installed in the DTU Nanolab cleanroom - a university facility providing a comprehensive suite of micro- and nanofabrication tools. It serves a diverse community of over 200 active users, ra

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  2. Verificar as condições de participação e os documentos exigidos
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  6. Confirmar o procedimento e o prazo de apresentação

TED · 628101-2026. Verificado em 11 de set de 2026 10:05.
https://ted.europa.eu/en/notice/-/detail/628101-2026

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