Oficjalne podsumowanie · English
Co jest przedmiotem zamówienia?
DTU Nanolab wishes to acquire a high ion density source reactive ion etcher for etching lithium niobate on insulator 150 mm wafer processing. Delivery is expected no later than Q4 2027. We are looking for a highly versatile instrument providing stable etch recipes, capable of etching at both nanometer scale and micrometer scale with precise control of etching depth, typically a few hundreds of nm. The instrument must have state-of-the-art performance in terms of profile control, uniformity, selectivity, and in particu-lar etching sidewall smoothness to achieve low waveguide loss. The Instrument will be installed in the DTU Nanolab cleanroom - a university facility providing a comprehensive suite of micro- and nanofabrication tools.…
Pomocnicze tłumaczenie maszynowe. Oficjalne podsumowanie pozostaje rozstrzygające.
Oficjalne podsumowanie · English
DTU Nanolab wishes to acquire a high ion density source reactive ion etcher for etching lithium niobate on insulator 150 mm wafer processing. Delivery is expected no later than Q4 2027. We are looking for a highly versatile instrument providing stable etch recipes, capable of etching at both nanometer scale and micrometer scale with precise control of etching depth, typically a few hundreds of nm. The instrument must have state-of-the-art performance in terms of profile control, uniformity, selectivity, and in particu-lar etching sidewall smoothness to achieve low waveguide loss. The Instrument will be installed in the DTU Nanolab cleanroom - a university facility providing a comprehensive suite of micro- and nanofabrication tools.…
Historia ogłoszeń
Oś czasu postępowania o udzielenie zamówienia
Śledź główne etapy i aktualizacje powiązane z tym postępowaniem o udzielenie zamówienia.
Nie znaleziono jeszcze żadnego innego powiązanego ogłoszenia.
-
Ogłoszenie o procedurze konkurencyjnej Przeglądane ogłoszenie
· TED 628101-2026
Otwórz oficjalne ogłoszenie ↗
Dane uporządkowano dla łatwiejszego czytania. Zawsze rozstrzygają oficjalne ogłoszenie i dokumenty zamówienia.
Źródło i wiarygodność
TED · 628101-2026. Sprawdzono 11 wrz 2026, 10:05.
Dane uporządkowano dla łatwiejszego czytania. Zawsze rozstrzygają oficjalne ogłoszenie i dokumenty zamówienia.