Officiell sammanfattning · English
Vad upphandlas?
DTU Nanolab wishes to acquire a high ion density source reactive ion etcher for etching lithium niobate on insulator 150 mm wafer processing. Delivery is expected no later than Q4 2027. We are looking for a highly versatile instrument providing stable etch recipes, capable of etching at both nanometer scale and micrometer scale with precise control of etching depth, typically a few hundreds of nm. The instrument must have state-of-the-art performance in terms of profile control, uniformity, selectivity, and in particu-lar etching sidewall smoothness to achieve low waveguide loss. The Instrument will be installed in the DTU Nanolab cleanroom - a university facility providing a comprehensive suite of micro- and nanofabrication tools. It serves a diverse community of over 200 active users, ra
Vägledande maskinöversättning. Den officiella sammanfattningen gäller.
Officiell sammanfattning · English
DTU Nanolab wishes to acquire a high ion density source reactive ion etcher for etching lithium niobate on insulator 150 mm wafer processing. Delivery is expected no later than Q4 2027. We are looking for a highly versatile instrument providing stable etch recipes, capable of etching at both nanometer scale and micrometer scale with precise control of etching depth, typically a few hundreds of nm. The instrument must have state-of-the-art performance in terms of profile control, uniformity, selectivity, and in particu-lar etching sidewall smoothness to achieve low waveguide loss. The Instrument will be installed in the DTU Nanolab cleanroom - a university facility providing a comprehensive suite of micro- and nanofabrication tools. It serves a diverse community of over 200 active users, ra
Gratis
Få nästa upphandlingar inom denna bransch
Få ett veckovis mejl med nya meddelanden som matchar dina kriterier. Kontrollera eller justera kriterierna innan du aktiverar din kostnadsfria bevakning.
Förberedelselista
Förbered mitt anbud
Kontroller att göra i de officiella handlingarna. Guiden är ingen automatisk dokumentanalys.
- Läs alla handlingar och ändringar
- Kontrollera deltagarvillkor och begärda dokument
- Kontrollera om platsbesök eller möte krävs
- Granska tilldelningskriterier och viktning
- Kontrollera tillgängliga resurser, budget och tidsplan
- Bekräfta inlämningsförfarandet och tidsfristen
TED · 628101-2026. Kontrollerad 11 sep. 2026 10:05.
https://ted.europa.eu/en/notice/-/detail/628101-2026
Analysera denna annons med AI
Förstå det viktigaste: sammanfattning, tidsfrister och kontrollpunkter utifrån tillgängliga uppgifter.
Analyser av annonser och PDF-filer använder samma kvot.
Meddelandehistorik
Tidslinje för upphandlingsförfarandet
Följ de viktigaste stegen och uppdateringarna som är kopplade till det här upphandlingsförfarandet.
Inget annat relaterat meddelande har ännu identifierats.
Uppgifterna har strukturerats om för att bli lättare att läsa. Det officiella meddelandet och upphandlingsdokumenten gäller alltid.
Källa och tillförlitlighet
TED · 628101-2026. Kontrollerad 11 sep. 2026 10:05.
Uppgifterna har strukturerats om för att bli lättare att läsa. Det officiella meddelandet och upphandlingsdokumenten gäller alltid.