Officiële samenvatting · English
Wat wordt ingekocht?
DTU Nanolab wishes to acquire a high ion density source reactive ion etcher for etching lithium niobate on insulator 150 mm wafer processing. Delivery is expected no later than Q4 2027. We are looking for a highly versatile instrument providing stable etch recipes, capable of etching at both nanometer scale and micrometer scale with precise control of etching depth, typically a few hundreds of nm. The instrument must have state-of-the-art performance in terms of profile control, uniformity, selectivity, and in particu-lar etching sidewall smoothness to achieve low waveguide loss. The Instrument will be installed in the DTU Nanolab cleanroom - a university facility providing a comprehensive suite of micro- and nanofabrication tools.…
Machinevertaling ter ondersteuning. De officiële samenvatting blijft leidend.
Officiële samenvatting · English
DTU Nanolab wishes to acquire a high ion density source reactive ion etcher for etching lithium niobate on insulator 150 mm wafer processing. Delivery is expected no later than Q4 2027. We are looking for a highly versatile instrument providing stable etch recipes, capable of etching at both nanometer scale and micrometer scale with precise control of etching depth, typically a few hundreds of nm. The instrument must have state-of-the-art performance in terms of profile control, uniformity, selectivity, and in particu-lar etching sidewall smoothness to achieve low waveguide loss. The Instrument will be installed in the DTU Nanolab cleanroom - a university facility providing a comprehensive suite of micro- and nanofabrication tools.…
Historie van de aankondiging
Tijdlijn van de aanbestedingsprocedure
Volg de belangrijkste fasen en updates van deze aanbestedingsprocedure.
Er is nog geen andere gerelateerde aankondiging gevonden.
De gegevens zijn voor een betere leesbaarheid geordend. De officiële aankondiging en aanbestedingsstukken zijn altijd doorslaggevend.
Bron en betrouwbaarheid
TED · 628101-2026. Gecontroleerd op 11 sep. 2026 10:05.
De gegevens zijn voor een betere leesbaarheid geordend. De officiële aankondiging en aanbestedingsstukken zijn altijd doorslaggevend.