Oficiální shrnutí · English
Co je předmětem zakázky?
DTU Nanolab wishes to acquire a high ion density source reactive ion etcher for etching lithium niobate on insulator 150 mm wafer processing. Delivery is expected no later than Q4 2027. We are looking for a highly versatile instrument providing stable etch recipes, capable of etching at both nanometer scale and micrometer scale with precise control of etching depth, typically a few hundreds of nm. The instrument must have state-of-the-art performance in terms of profile control, uniformity, selectivity, and in particu-lar etching sidewall smoothness to achieve low waveguide loss. The Instrument will be installed in the DTU Nanolab cleanroom - a university facility providing a comprehensive suite of micro- and nanofabrication tools.…
Orientační strojový překlad. Rozhodující zůstává oficiální shrnutí.
Oficiální shrnutí · English
DTU Nanolab wishes to acquire a high ion density source reactive ion etcher for etching lithium niobate on insulator 150 mm wafer processing. Delivery is expected no later than Q4 2027. We are looking for a highly versatile instrument providing stable etch recipes, capable of etching at both nanometer scale and micrometer scale with precise control of etching depth, typically a few hundreds of nm. The instrument must have state-of-the-art performance in terms of profile control, uniformity, selectivity, and in particu-lar etching sidewall smoothness to achieve low waveguide loss. The Instrument will be installed in the DTU Nanolab cleanroom - a university facility providing a comprehensive suite of micro- and nanofabrication tools.…
Historie oznámení
Časová osa zadávacího řízení
Sledujte hlavní fáze a aktualizace spojené s tímto zadávacím řízením.
Dosud nebylo nalezeno žádné další související oznámení.
-
Oznámení o zahájení zadávacího řízení Prohlížené oznámení
· TED 628101-2026
Otevřít oficiální oznámení ↗
Data jsou upravena pro snazší čtení. Oficiální oznámení a zadávací dokumentace mají vždy přednost.
Zdroj a spolehlivost
TED · 628101-2026. Ověřeno 11. 9. 2026 10:05.
Data jsou upravena pro snazší čtení. Oficiální oznámení a zadávací dokumentace mají vždy přednost.