Adjudicado TED · Fuente · Idioma: Nederlands

Bélgica · Equipos de laboratorio, ópticos y de precisión

Título oficial · Nederlands

FEOL ETCH CLUSTER

Imec EU Pilot line NV · Bélgica

Ver anuncios con este nombre
Resumen oficial · Nederlands

300mm Dry Etch Platform bestaande uit een Process Module zoals hieronder omschreven: i. Conductor Dry Ether met ICP (Inductively Coupled Plasma) RF Source Power en Dual Bottom Bias capability (RF Bias + DC Pulse Bias aan 400kHz) ii. Deze Process Module moet het vermogen hebben om RF Bias en DC Bias te superponeren. Deze Process Module is bedoeld voor verschillende FEOL-toepassingen voor N2 technologie node en verder, in het bijzonder CFET (Complementary…

¿Qué se contrata?
Plazo No indicado
Valor estimadoNo indicado
Publicado21 jul. 2026
Abrir el anuncio oficial ↗

Resumen oficial · Nederlands

¿Qué se contrata?

300mm Dry Etch Platform bestaande uit een Process Module zoals hieronder omschreven: i. Conductor Dry Ether met ICP (Inductively Coupled Plasma) RF Source Power en Dual Bottom Bias capability (RF Bias + DC Pulse Bias aan 400kHz) ii. Deze Process Module moet het vermogen hebben om RF Bias en DC Bias te superponeren. Deze Process Module is bedoeld voor verschillende FEOL-toepassingen voor N2 technologie node en verder, in het bijzonder CFET (Complementary Field Effect Transistor) toepassingen inclusief maar niet beperkt tot CFET Nanosheet Etch, CFET Full Gate Etch en CFET Source/Drain Recess. Er moeten minimaal 6 procesmoduleslots beschikbaar zijn op het platform voor een mogelijke capaciteits- en functionaliteitsupgrade. Het platform moet minimaal 5 laadpoorten bevatten.

Historial del anuncio

Cronología del procedimiento de contratación

Sigue las principales etapas y actualizaciones vinculadas a este procedimiento de contratación.

Todavía no se ha identificado ningún otro anuncio relacionado.

  1. Anuncio de adjudicación Anuncio actual

    · TED 503557-2026

    Abrir el anuncio oficial ↗

Los datos se reestructuran para facilitar su lectura. El anuncio oficial y los documentos de contratación siempre prevalecen.

Fuente y fiabilidad

TED · 503557-2026. Verificado el 23 ago. 2026 20:05.

Los datos se reestructuran para facilitar su lectura. El anuncio oficial y los documentos de contratación siempre prevalecen.

Informar de un error por correo electrónico