Leping sõlmitud TED · Allikas · Keel: Nederlands

Belgia · Labori-, optika- ja täppisseadmed

Ametlik pealkiri · Nederlands

FEOL ETCH CLUSTER

Imec EU Pilot line NV · Belgia

Vaata selle nimega teateid
Ametlik kokkuvõte · Nederlands

300mm Dry Etch Platform bestaande uit een Process Module zoals hieronder omschreven: i. Conductor Dry Ether met ICP (Inductively Coupled Plasma) RF Source Power en Dual Bottom Bias capability (RF Bias + DC Pulse Bias aan 400kHz) ii. Deze Process Module moet het vermogen hebben om RF Bias en DC Bias te superponeren. Deze Process Module is bedoeld voor verschillende FEOL-toepassingen voor N2 technologie node en verder, in het bijzonder CFET (Complementary…

Mida hangitakse?
Tähtaeg Teatamata
Eeldatav maksumusTeatamata
Avaldatud21. juuli 2026
Avage ametlik teade ↗

Ametlik kokkuvõte · Nederlands

Mida hangitakse?

300mm Dry Etch Platform bestaande uit een Process Module zoals hieronder omschreven: i. Conductor Dry Ether met ICP (Inductively Coupled Plasma) RF Source Power en Dual Bottom Bias capability (RF Bias + DC Pulse Bias aan 400kHz) ii. Deze Process Module moet het vermogen hebben om RF Bias en DC Bias te superponeren. Deze Process Module is bedoeld voor verschillende FEOL-toepassingen voor N2 technologie node en verder, in het bijzonder CFET (Complementary Field Effect Transistor) toepassingen inclusief maar niet beperkt tot CFET Nanosheet Etch, CFET Full Gate Etch en CFET Source/Drain Recess. Er moeten minimaal 6 procesmoduleslots beschikbaar zijn op het platform voor een mogelijke capaciteits- en functionaliteitsupgrade. Het platform moet minimaal 5 laadpoorten bevatten.

Teate ajalugu

Hankemenetluse ajajoon

Jälgige selle hankemenetlusega seotud põhietappe ja uuendusi.

Ühtegi muud seotud teadet ei ole veel tuvastatud.

  1. Tulemusteade Praegune teade

    · TED 503557-2026

    Avage ametlik teade ↗

Andmed on lihtsamaks lugemiseks ümber struktureeritud. Alati on ülimuslikud ametlik teade ja hankedokumendid.

Allikas ja usaldusväärsus

TED · 503557-2026. Kontrollitud 23. aug 2026 20:05.

Andmed on lihtsamaks lugemiseks ümber struktureeritud. Alati on ülimuslikud ametlik teade ja hankedokumendid.

Teata veast e-posti teel