Skirtas TED · Šaltinis · Kalba: Nederlands

Belgija · Laboratorinė, optinė ir tikslioji įranga

Oficialus pavadinimas · Nederlands

FEOL ETCH CLUSTER

Imec EU Pilot line NV · Belgija

Peržiūrėti skelbimus šiuo pavadinimu
Oficiali santrauka · Nederlands

300mm Dry Etch Platform bestaande uit een Process Module zoals hieronder omschreven: i. Conductor Dry Ether met ICP (Inductively Coupled Plasma) RF Source Power en Dual Bottom Bias capability (RF Bias + DC Pulse Bias aan 400kHz) ii. Deze Process Module moet het vermogen hebben om RF Bias en DC Bias te superponeren. Deze Process Module is bedoeld voor verschillende FEOL-toepassingen voor N2 technologie node en verder, in het bijzonder CFET (Complementary…

Kas perkama?
Terminas Nepaskelbta
Numatoma vertėNepaskelbta
Paskelbta2026-07-21
Atidaryti oficialų skelbimą ↗

Oficiali santrauka · Nederlands

Kas perkama?

300mm Dry Etch Platform bestaande uit een Process Module zoals hieronder omschreven: i. Conductor Dry Ether met ICP (Inductively Coupled Plasma) RF Source Power en Dual Bottom Bias capability (RF Bias + DC Pulse Bias aan 400kHz) ii. Deze Process Module moet het vermogen hebben om RF Bias en DC Bias te superponeren. Deze Process Module is bedoeld voor verschillende FEOL-toepassingen voor N2 technologie node en verder, in het bijzonder CFET (Complementary Field Effect Transistor) toepassingen inclusief maar niet beperkt tot CFET Nanosheet Etch, CFET Full Gate Etch en CFET Source/Drain Recess. Er moeten minimaal 6 procesmoduleslots beschikbaar zijn op het platform voor een mogelijke capaciteits- en functionaliteitsupgrade. Het platform moet minimaal 5 laadpoorten bevatten.

Skelbimo istorija

Pirkimo procedūros laiko juosta

Sekite pagrindinius šios pirkimo procedūros etapus ir atnaujinimus.

Kol kas nenustatyta jokių kitų susijusių skelbimų.

  1. Rezultatų skelbimas Dabartinis skelbimas

    · TED 503557-2026

    Atidaryti oficialų skelbimą ↗

Duomenys pertvarkyti, kad būtų lengviau skaityti. Oficialus skelbimas ir pirkimo dokumentai visada turi pirmenybę.

Šaltinis ir patikimumas

TED · 503557-2026. Patikrinta 2026-08-23 20:05.

Duomenys pertvarkyti, kad būtų lengviau skaityti. Oficialus skelbimas ir pirkimo dokumentai visada turi pirmenybę.

Pranešti apie klaidą el. paštu