Aggiudicato TED · Fonte · Lingua: Nederlands

Belgio · Apparecchiature di laboratorio, ottiche e di precisione

Titolo ufficiale · Nederlands

FEOL ETCH CLUSTER

Imec EU Pilot line NV · Belgio

Vedi gli avvisi con questo nome
Sintesi ufficiale · Nederlands

300mm Dry Etch Platform bestaande uit een Process Module zoals hieronder omschreven: i. Conductor Dry Ether met ICP (Inductively Coupled Plasma) RF Source Power en Dual Bottom Bias capability (RF Bias + DC Pulse Bias aan 400kHz) ii. Deze Process Module moet het vermogen hebben om RF Bias en DC Bias te superponeren. Deze Process Module is bedoeld voor verschillende FEOL-toepassingen voor N2 technologie node en verder, in het bijzonder CFET (Complementary…

Che cosa viene acquistato?
Scadenza Non indicato
Valore stimatoNon indicato
Pubblicato21 lug 2026
Apri l’avviso ufficiale ↗

Sintesi ufficiale · Nederlands

Che cosa viene acquistato?

300mm Dry Etch Platform bestaande uit een Process Module zoals hieronder omschreven: i. Conductor Dry Ether met ICP (Inductively Coupled Plasma) RF Source Power en Dual Bottom Bias capability (RF Bias + DC Pulse Bias aan 400kHz) ii. Deze Process Module moet het vermogen hebben om RF Bias en DC Bias te superponeren. Deze Process Module is bedoeld voor verschillende FEOL-toepassingen voor N2 technologie node en verder, in het bijzonder CFET (Complementary Field Effect Transistor) toepassingen inclusief maar niet beperkt tot CFET Nanosheet Etch, CFET Full Gate Etch en CFET Source/Drain Recess. Er moeten minimaal 6 procesmoduleslots beschikbaar zijn op het platform voor een mogelijke capaciteits- en functionaliteitsupgrade. Het platform moet minimaal 5 laadpoorten bevatten.

Cronologia dell’avviso

Cronologia della procedura di appalto

Segui le fasi principali e gli aggiornamenti relativi a questa procedura di appalto.

Non è stato ancora individuato nessun altro avviso correlato.

  1. Avviso di aggiudicazione Avviso corrente

    · TED 503557-2026

    Apri l’avviso ufficiale ↗

I dati sono riorganizzati per agevolarne la lettura. L’avviso ufficiale e i documenti di gara prevalgono sempre.

Fonte e affidabilità

TED · 503557-2026. Verificato il 23 ago 2026, 20:05.

I dati sono riorganizzati per agevolarne la lettura. L’avviso ufficiale e i documenti di gara prevalgono sempre.

Segnala un errore via e-mail