Sintesi ufficiale · Nederlands
Che cosa viene acquistato?
300mm Dry Etch Platform bestaande uit een Process Module zoals hieronder omschreven: i. Conductor Dry Ether met ICP (Inductively Coupled Plasma) RF Source Power en Dual Bottom Bias capability (RF Bias + DC Pulse Bias aan 400kHz) ii. Deze Process Module moet het vermogen hebben om RF Bias en DC Bias te superponeren. Deze Process Module is bedoeld voor verschillende FEOL-toepassingen voor N2 technologie node en verder, in het bijzonder CFET (Complementary Field Effect Transistor) toepassingen inclusief maar niet beperkt tot CFET Nanosheet Etch, CFET Full Gate Etch en CFET Source/Drain Recess. Er moeten minimaal 6 procesmoduleslots beschikbaar zijn op het platform voor een mogelijke capaciteits- en functionaliteitsupgrade. Het platform moet minimaal 5 laadpoorten bevatten.
Traduzione automatica indicativa. Il riepilogo ufficiale resta il riferimento.
Sintesi ufficiale · Nederlands
300mm Dry Etch Platform bestaande uit een Process Module zoals hieronder omschreven: i. Conductor Dry Ether met ICP (Inductively Coupled Plasma) RF Source Power en Dual Bottom Bias capability (RF Bias + DC Pulse Bias aan 400kHz) ii. Deze Process Module moet het vermogen hebben om RF Bias en DC Bias te superponeren. Deze Process Module is bedoeld voor verschillende FEOL-toepassingen voor N2 technologie node en verder, in het bijzonder CFET (Complementary Field Effect Transistor) toepassingen inclusief maar niet beperkt tot CFET Nanosheet Etch, CFET Full Gate Etch en CFET Source/Drain Recess. Er moeten minimaal 6 procesmoduleslots beschikbaar zijn op het platform voor een mogelijke capaciteits- en functionaliteitsupgrade. Het platform moet minimaal 5 laadpoorten bevatten.
Gratuito
Ricevi le prossime gare di questo settore
Ricevi ogni settimana un’e-mail con i nuovi avvisi che corrispondono ai tuoi criteri. Verifica o modifica i criteri prima di attivare l’avviso gratuito.
Cronologia dell’avviso
Cronologia della procedura di appalto
Segui le fasi principali e gli aggiornamenti relativi a questa procedura di appalto.
Non è stato ancora individuato nessun altro avviso correlato.
I dati sono riorganizzati per agevolarne la lettura. L’avviso ufficiale e i documenti di gara prevalgono sempre.
Fonte e affidabilità
TED · 503557-2026. Verificato il 23 ago 2026, 20:05.
I dati sono riorganizzati per agevolarne la lettura. L’avviso ufficiale e i documenti di gara prevalgono sempre.