Официално резюме · Nederlands
Какво се възлага?
300mm Dry Etch Platform bestaande uit een Process Module zoals hieronder omschreven: i. Conductor Dry Ether met ICP (Inductively Coupled Plasma) RF Source Power en Dual Bottom Bias capability (RF Bias + DC Pulse Bias aan 400kHz) ii. Deze Process Module moet het vermogen hebben om RF Bias en DC Bias te superponeren. Deze Process Module is bedoeld voor verschillende FEOL-toepassingen voor N2 technologie node en verder, in het bijzonder CFET (Complementary Field Effect Transistor) toepassingen inclusief maar niet beperkt tot CFET Nanosheet Etch, CFET Full Gate Etch en CFET Source/Drain Recess. Er moeten minimaal 6 procesmoduleslots beschikbaar zijn op het platform voor een mogelijke capaciteits- en functionaliteitsupgrade. Het platform moet minimaal 5 laadpoorten bevatten.
Машинен превод за ориентация. Официалното резюме остава меродавно.
Официално резюме · Nederlands
300mm Dry Etch Platform bestaande uit een Process Module zoals hieronder omschreven: i. Conductor Dry Ether met ICP (Inductively Coupled Plasma) RF Source Power en Dual Bottom Bias capability (RF Bias + DC Pulse Bias aan 400kHz) ii. Deze Process Module moet het vermogen hebben om RF Bias en DC Bias te superponeren. Deze Process Module is bedoeld voor verschillende FEOL-toepassingen voor N2 technologie node en verder, in het bijzonder CFET (Complementary Field Effect Transistor) toepassingen inclusief maar niet beperkt tot CFET Nanosheet Etch, CFET Full Gate Etch en CFET Source/Drain Recess. Er moeten minimaal 6 procesmoduleslots beschikbaar zijn op het platform voor een mogelijke capaciteits- en functionaliteitsupgrade. Het platform moet minimaal 5 laadpoorten bevatten.
Безплатно
Получавайте следващите поръчки в този сектор
Получавайте седмичен имейл с нови обявления по вашите критерии. Проверете или променете критериите, преди да активирате безплатното известяване.
История на обявлението
Хронология на процедурата за възлагане
Проследете основните етапи и актуализации, свързани с тази процедура за възлагане.
Все още не е открито друго свързано обявление.
Данните са преструктурирани за по-лесно четене. Официалното обявление и документите винаги имат предимство.
Източник и надеждност
TED · 503557-2026. Проверено на 23.08.2026 г., 20:05 ч..
Данните са преструктурирани за по-лесно четене. Официалното обявление и документите винаги имат предимство.