Възложена TED · Източник · Език: Nederlands

Белгия · Лабораторно, оптично и прецизно оборудване

Официално заглавие · Nederlands

FEOL ETCH CLUSTER

Imec EU Pilot line NV · Белгия

Вижте обявленията под това име
Официално резюме · Nederlands

300mm Dry Etch Platform bestaande uit een Process Module zoals hieronder omschreven: i. Conductor Dry Ether met ICP (Inductively Coupled Plasma) RF Source Power en Dual Bottom Bias capability (RF Bias + DC Pulse Bias aan 400kHz) ii. Deze Process Module moet het vermogen hebben om RF Bias en DC Bias te superponeren. Deze Process Module is bedoeld voor verschillende FEOL-toepassingen voor N2 technologie node en verder, in het bijzonder CFET (Complementary…

Какво се възлага?
Краен срок Не е обявено
Прогнозна стойностНе е обявено
Публикувано21.07.2026 г.
Отворете официалното обявление ↗

Официално резюме · Nederlands

Какво се възлага?

300mm Dry Etch Platform bestaande uit een Process Module zoals hieronder omschreven: i. Conductor Dry Ether met ICP (Inductively Coupled Plasma) RF Source Power en Dual Bottom Bias capability (RF Bias + DC Pulse Bias aan 400kHz) ii. Deze Process Module moet het vermogen hebben om RF Bias en DC Bias te superponeren. Deze Process Module is bedoeld voor verschillende FEOL-toepassingen voor N2 technologie node en verder, in het bijzonder CFET (Complementary Field Effect Transistor) toepassingen inclusief maar niet beperkt tot CFET Nanosheet Etch, CFET Full Gate Etch en CFET Source/Drain Recess. Er moeten minimaal 6 procesmoduleslots beschikbaar zijn op het platform voor een mogelijke capaciteits- en functionaliteitsupgrade. Het platform moet minimaal 5 laadpoorten bevatten.

История на обявлението

Хронология на процедурата за възлагане

Проследете основните етапи и актуализации, свързани с тази процедура за възлагане.

Все още не е открито друго свързано обявление.

  1. Обявление за резултат Текущо обявление

    · TED 503557-2026

    Отворете официалното обявление ↗

Данните са преструктурирани за по-лесно четене. Официалното обявление и документите винаги имат предимство.

Източник и надеждност

TED · 503557-2026. Проверено на 23.08.2026 г., 20:05 ч..

Данните са преструктурирани за по-лесно четене. Официалното обявление и документите винаги имат предимство.

Съобщете за грешка по имейл