Sopimus tehty TED · Lähde · Kieli: Nederlands

Belgia · Laboratorio-, optiset ja tarkkuuslaitteet

Virallinen otsikko · Nederlands

FEOL ETCH CLUSTER

Imec EU Pilot line NV · Belgia

Näytä tällä nimellä julkaistut ilmoitukset
Virallinen yhteenveto · Nederlands

300mm Dry Etch Platform bestaande uit een Process Module zoals hieronder omschreven: i. Conductor Dry Ether met ICP (Inductively Coupled Plasma) RF Source Power en Dual Bottom Bias capability (RF Bias + DC Pulse Bias aan 400kHz) ii. Deze Process Module moet het vermogen hebben om RF Bias en DC Bias te superponeren. Deze Process Module is bedoeld voor verschillende FEOL-toepassingen voor N2 technologie node en verder, in het bijzonder CFET (Complementary…

Mitä hankitaan?
Määräaika Ei ilmoitettu
Arvioitu arvoEi ilmoitettu
Julkaistu21.7.2026
Avaa virallinen ilmoitus ↗

Virallinen yhteenveto · Nederlands

Mitä hankitaan?

300mm Dry Etch Platform bestaande uit een Process Module zoals hieronder omschreven: i. Conductor Dry Ether met ICP (Inductively Coupled Plasma) RF Source Power en Dual Bottom Bias capability (RF Bias + DC Pulse Bias aan 400kHz) ii. Deze Process Module moet het vermogen hebben om RF Bias en DC Bias te superponeren. Deze Process Module is bedoeld voor verschillende FEOL-toepassingen voor N2 technologie node en verder, in het bijzonder CFET (Complementary Field Effect Transistor) toepassingen inclusief maar niet beperkt tot CFET Nanosheet Etch, CFET Full Gate Etch en CFET Source/Drain Recess. Er moeten minimaal 6 procesmoduleslots beschikbaar zijn op het platform voor een mogelijke capaciteits- en functionaliteitsupgrade. Het platform moet minimaal 5 laadpoorten bevatten.

Ilmoitushistoria

Hankintamenettelyn aikajana

Seuraa tähän hankintamenettelyyn liittyviä päävaiheita ja päivityksiä.

Muita tähän liittyviä ilmoituksia ei ole vielä tunnistettu.

  1. Tulosilmoitus Nykyinen ilmoitus

    · TED 503557-2026

    Avaa virallinen ilmoitus ↗

Tiedot on jäsennetty helpommin luettaviksi. Virallinen ilmoitus ja hankinta-asiakirjat ovat aina ratkaisevia.

Lähde ja luotettavuus

TED · 503557-2026. Tarkistettu 23.8.2026 klo 20.05.

Tiedot on jäsennetty helpommin luettaviksi. Virallinen ilmoitus ja hankinta-asiakirjat ovat aina ratkaisevia.

Ilmoita virheestä sähköpostitse