Piešķirts TED · Avots · Valoda: Nederlands

Beļģija · Laboratorijas, optiskais un precīzijas aprīkojums

Oficiālais nosaukums · Nederlands

FEOL ETCH CLUSTER

Imec EU Pilot line NV · Beļģija

Skatīt paziņojumus ar šo nosaukumu
Oficiālais kopsavilkums · Nederlands

300mm Dry Etch Platform bestaande uit een Process Module zoals hieronder omschreven: i. Conductor Dry Ether met ICP (Inductively Coupled Plasma) RF Source Power en Dual Bottom Bias capability (RF Bias + DC Pulse Bias aan 400kHz) ii. Deze Process Module moet het vermogen hebben om RF Bias en DC Bias te superponeren. Deze Process Module is bedoeld voor verschillende FEOL-toepassingen voor N2 technologie node en verder, in het bijzonder CFET (Complementary…

Kas tiek iepirkts?
Termiņš Nav paziņots
Paredzamā vērtībaNav paziņots
Publicēts2026. gada 21. jūl.
Atvērt oficiālo paziņojumu ↗

Oficiālais kopsavilkums · Nederlands

Kas tiek iepirkts?

300mm Dry Etch Platform bestaande uit een Process Module zoals hieronder omschreven: i. Conductor Dry Ether met ICP (Inductively Coupled Plasma) RF Source Power en Dual Bottom Bias capability (RF Bias + DC Pulse Bias aan 400kHz) ii. Deze Process Module moet het vermogen hebben om RF Bias en DC Bias te superponeren. Deze Process Module is bedoeld voor verschillende FEOL-toepassingen voor N2 technologie node en verder, in het bijzonder CFET (Complementary Field Effect Transistor) toepassingen inclusief maar niet beperkt tot CFET Nanosheet Etch, CFET Full Gate Etch en CFET Source/Drain Recess. Er moeten minimaal 6 procesmoduleslots beschikbaar zijn op het platform voor een mogelijke capaciteits- en functionaliteitsupgrade. Het platform moet minimaal 5 laadpoorten bevatten.

Paziņojuma vēsture

Iepirkuma procedūras laika skala

Sekojiet galvenajiem posmiem un atjauninājumiem, kas saistīti ar šo iepirkuma procedūru.

Cits saistīts paziņojums vēl nav identificēts.

  1. Rezultātu paziņojums Pašreizējais paziņojums

    · TED 503557-2026

    Atvērt oficiālo paziņojumu ↗

Dati ir pārstrukturēti vieglākai lasīšanai. Oficiālais paziņojums un iepirkuma dokumenti vienmēr ir noteicošie.

Avots un uzticamība

TED · 503557-2026. Pārbaudīts 2026. gada 23. aug. 20:05.

Dati ir pārstrukturēti vieglākai lasīšanai. Oficiālais paziņojums un iepirkuma dokumenti vienmēr ir noteicošie.

Ziņot par kļūdu e-pastā