Tildelt TED · Kilde · Sprog: Nederlands

Belgien · Laboratorie-, optisk og præcisionsudstyr

Officiel titel · Nederlands

FEOL ETCH CLUSTER

Imec EU Pilot line NV · Belgien

Se udbud under dette navn
Officielt resumé · Nederlands

300mm Dry Etch Platform bestaande uit een Process Module zoals hieronder omschreven: i. Conductor Dry Ether met ICP (Inductively Coupled Plasma) RF Source Power en Dual Bottom Bias capability (RF Bias + DC Pulse Bias aan 400kHz) ii. Deze Process Module moet het vermogen hebben om RF Bias en DC Bias te superponeren. Deze Process Module is bedoeld voor verschillende FEOL-toepassingen voor N2 technologie node en verder, in het bijzonder CFET (Complementary…

Hvad indkøbes?
Frist Ikke oplyst
Anslået værdiIkke oplyst
Offentliggjort21. jul. 2026
Åbn officiel meddelelse ↗

Officielt resumé · Nederlands

Hvad indkøbes?

300mm Dry Etch Platform bestaande uit een Process Module zoals hieronder omschreven: i. Conductor Dry Ether met ICP (Inductively Coupled Plasma) RF Source Power en Dual Bottom Bias capability (RF Bias + DC Pulse Bias aan 400kHz) ii. Deze Process Module moet het vermogen hebben om RF Bias en DC Bias te superponeren. Deze Process Module is bedoeld voor verschillende FEOL-toepassingen voor N2 technologie node en verder, in het bijzonder CFET (Complementary Field Effect Transistor) toepassingen inclusief maar niet beperkt tot CFET Nanosheet Etch, CFET Full Gate Etch en CFET Source/Drain Recess. Er moeten minimaal 6 procesmoduleslots beschikbaar zijn op het platform voor een mogelijke capaciteits- en functionaliteitsupgrade. Het platform moet minimaal 5 laadpoorten bevatten.

Meddelelseshistorik

Udbudsforløb

Følg de vigtigste faser og opdateringer i dette udbud.

Der er endnu ikke fundet en anden relateret meddelelse.

  1. Resultatmeddelelse Aktuel meddelelse

    · TED 503557-2026

    Åbn officiel meddelelse ↗

Data er omstruktureret for at være lettere at læse. Den officielle meddelelse og udbudsdokumenterne er altid gældende.

Kilde og pålidelighed

TED · 503557-2026. Kontrolleret 23. aug. 2026 20.05.

Data er omstruktureret for at være lettere at læse. Den officielle meddelelse og udbudsdokumenterne er altid gældende.

Indberet en fejl via e-mail