Résumé officiel · Nederlands
Quel est l’objet du marché ?
300mm Dry Etch Platform bestaande uit een Process Module zoals hieronder omschreven: i. Conductor Dry Ether met ICP (Inductively Coupled Plasma) RF Source Power en Dual Bottom Bias capability (RF Bias + DC Pulse Bias aan 400kHz) ii. Deze Process Module moet het vermogen hebben om RF Bias en DC Bias te superponeren. Deze Process Module is bedoeld voor verschillende FEOL-toepassingen voor N2 technologie node en verder, in het bijzonder CFET (Complementary Field Effect Transistor) toepassingen inclusief maar niet beperkt tot CFET Nanosheet Etch, CFET Full Gate Etch en CFET Source/Drain Recess. Er moeten minimaal 6 procesmoduleslots beschikbaar zijn op het platform voor een mogelijke capaciteits- en functionaliteitsupgrade. Het platform moet minimaal 5 laadpoorten bevatten.
Traduction automatique indicative. Le résumé officiel reste la référence.
Résumé officiel · Nederlands
300mm Dry Etch Platform bestaande uit een Process Module zoals hieronder omschreven: i. Conductor Dry Ether met ICP (Inductively Coupled Plasma) RF Source Power en Dual Bottom Bias capability (RF Bias + DC Pulse Bias aan 400kHz) ii. Deze Process Module moet het vermogen hebben om RF Bias en DC Bias te superponeren. Deze Process Module is bedoeld voor verschillende FEOL-toepassingen voor N2 technologie node en verder, in het bijzonder CFET (Complementary Field Effect Transistor) toepassingen inclusief maar niet beperkt tot CFET Nanosheet Etch, CFET Full Gate Etch en CFET Source/Drain Recess. Er moeten minimaal 6 procesmoduleslots beschikbaar zijn op het platform voor een mogelijke capaciteits- en functionaliteitsupgrade. Het platform moet minimaal 5 laadpoorten bevatten.
Gratuit
Recevez les prochains marchés de cette activité
Retrouvez les nouveaux avis correspondant à vos critères dans un e-mail hebdomadaire. Vérifiez ou ajustez les critères avant d’activer votre alerte gratuite.
Historique de l’avis
Chronologie de la procédure
Suivez les principales étapes et mises à jour liées à cette procédure de passation.
Aucun autre avis lié n’a encore été identifié.
Les données sont restructurées pour en faciliter la lecture. L’avis officiel et les documents du marché font toujours foi.
Source et fiabilité
TED · 503557-2026. Vérifié le 23 août 2026 à 20:05.
Les données sont restructurées pour en faciliter la lecture. L’avis officiel et les documents du marché font toujours foi.