Udzielone TED · Źródło · Język: Nederlands

Belgia · Sprzęt laboratoryjny, optyczny i precyzyjny

Oficjalny tytuł · Nederlands

FEOL ETCH CLUSTER

Imec EU Pilot line NV · Belgia

Zobacz ogłoszenia pod tą nazwą
Oficjalne podsumowanie · Nederlands

300mm Dry Etch Platform bestaande uit een Process Module zoals hieronder omschreven: i. Conductor Dry Ether met ICP (Inductively Coupled Plasma) RF Source Power en Dual Bottom Bias capability (RF Bias + DC Pulse Bias aan 400kHz) ii. Deze Process Module moet het vermogen hebben om RF Bias en DC Bias te superponeren. Deze Process Module is bedoeld voor verschillende FEOL-toepassingen voor N2 technologie node en verder, in het bijzonder CFET (Complementary…

Co jest przedmiotem zamówienia?
Termin Nie podano
Szacunkowa wartośćNie podano
Opublikowano21 lip 2026
Otwórz oficjalne ogłoszenie ↗

Oficjalne podsumowanie · Nederlands

Co jest przedmiotem zamówienia?

300mm Dry Etch Platform bestaande uit een Process Module zoals hieronder omschreven: i. Conductor Dry Ether met ICP (Inductively Coupled Plasma) RF Source Power en Dual Bottom Bias capability (RF Bias + DC Pulse Bias aan 400kHz) ii. Deze Process Module moet het vermogen hebben om RF Bias en DC Bias te superponeren. Deze Process Module is bedoeld voor verschillende FEOL-toepassingen voor N2 technologie node en verder, in het bijzonder CFET (Complementary Field Effect Transistor) toepassingen inclusief maar niet beperkt tot CFET Nanosheet Etch, CFET Full Gate Etch en CFET Source/Drain Recess. Er moeten minimaal 6 procesmoduleslots beschikbaar zijn op het platform voor een mogelijke capaciteits- en functionaliteitsupgrade. Het platform moet minimaal 5 laadpoorten bevatten.

Historia ogłoszeń

Oś czasu postępowania o udzielenie zamówienia

Śledź główne etapy i aktualizacje powiązane z tym postępowaniem o udzielenie zamówienia.

Nie znaleziono jeszcze żadnego innego powiązanego ogłoszenia.

  1. Ogłoszenie o wyniku Bieżące ogłoszenie

    · TED 503557-2026

    Otwórz oficjalne ogłoszenie ↗

Dane uporządkowano dla łatwiejszego czytania. Zawsze rozstrzygają oficjalne ogłoszenie i dokumenty zamówienia.

Źródło i wiarygodność

TED · 503557-2026. Sprawdzono 23 sie 2026, 20:05.

Dane uporządkowano dla łatwiejszego czytania. Zawsze rozstrzygają oficjalne ogłoszenie i dokumenty zamówienia.

Zgłoś błąd e-mailem