Ανατέθηκε TED · Πηγή · Γλώσσα: Nederlands

Βέλγιο · Εργαστηριακός, οπτικός και εξοπλισμός ακριβείας

Επίσημος τίτλος · Nederlands

FEOL ETCH CLUSTER

Imec EU Pilot line NV · Βέλγιο

Δείτε προκηρύξεις με αυτό το όνομα
Επίσημη περίληψη · Nederlands

300mm Dry Etch Platform bestaande uit een Process Module zoals hieronder omschreven: i. Conductor Dry Ether met ICP (Inductively Coupled Plasma) RF Source Power en Dual Bottom Bias capability (RF Bias + DC Pulse Bias aan 400kHz) ii. Deze Process Module moet het vermogen hebben om RF Bias en DC Bias te superponeren. Deze Process Module is bedoeld voor verschillende FEOL-toepassingen voor N2 technologie node en verder, in het bijzonder CFET (Complementary…

Τι αποτελεί αντικείμενο της σύμβασης;
Προθεσμία Δεν ανακοινώθηκε
Εκτιμώμενη αξίαΔεν ανακοινώθηκε
Δημοσιεύθηκε21 Ιουλ 2026
Άνοιγμα επίσημης προκήρυξης ↗

Επίσημη περίληψη · Nederlands

Τι αποτελεί αντικείμενο της σύμβασης;

300mm Dry Etch Platform bestaande uit een Process Module zoals hieronder omschreven: i. Conductor Dry Ether met ICP (Inductively Coupled Plasma) RF Source Power en Dual Bottom Bias capability (RF Bias + DC Pulse Bias aan 400kHz) ii. Deze Process Module moet het vermogen hebben om RF Bias en DC Bias te superponeren. Deze Process Module is bedoeld voor verschillende FEOL-toepassingen voor N2 technologie node en verder, in het bijzonder CFET (Complementary Field Effect Transistor) toepassingen inclusief maar niet beperkt tot CFET Nanosheet Etch, CFET Full Gate Etch en CFET Source/Drain Recess. Er moeten minimaal 6 procesmoduleslots beschikbaar zijn op het platform voor een mogelijke capaciteits- en functionaliteitsupgrade. Het platform moet minimaal 5 laadpoorten bevatten.

Ιστορικό γνωστοποιήσεων

Χρονολόγιο διαδικασίας σύναψης σύμβασης

Παρακολουθήστε τα κύρια στάδια και τις ενημερώσεις που συνδέονται με αυτή τη διαδικασία σύναψης σύμβασης.

Δεν έχει ακόμη εντοπιστεί άλλη σχετική γνωστοποίηση.

  1. Γνωστοποίηση αποτελέσματος Τρέχουσα γνωστοποίηση

    · TED 503557-2026

    Άνοιγμα επίσημης προκήρυξης ↗

Τα δεδομένα έχουν αναδιαρθρωθεί για ευκολότερη ανάγνωση. Η επίσημη προκήρυξη και τα έγγραφα της σύμβασης υπερισχύουν πάντα.

Πηγή και αξιοπιστία

TED · 503557-2026. Ελέγχθηκε στις 23 Αυγ 2026, 8:05 μ.μ..

Τα δεδομένα έχουν αναδιαρθρωθεί για ευκολότερη ανάγνωση. Η επίσημη προκήρυξη και τα έγγραφα της σύμβασης υπερισχύουν πάντα.

Αναφορά σφάλματος μέσω email