Dodijeljeno TED · Izvor · Jezik: Nederlands

Belgija · Laboratorijska, optička i precizna oprema

Službeni naslov · Nederlands

FEOL ETCH CLUSTER

Imec EU Pilot line NV · Belgija

Pogledajte objave pod ovim nazivom
Službeni sažetak · Nederlands

300mm Dry Etch Platform bestaande uit een Process Module zoals hieronder omschreven: i. Conductor Dry Ether met ICP (Inductively Coupled Plasma) RF Source Power en Dual Bottom Bias capability (RF Bias + DC Pulse Bias aan 400kHz) ii. Deze Process Module moet het vermogen hebben om RF Bias en DC Bias te superponeren. Deze Process Module is bedoeld voor verschillende FEOL-toepassingen voor N2 technologie node en verder, in het bijzonder CFET (Complementary…

Što se nabavlja?
Rok Nije objavljeno
Procijenjena vrijednostNije objavljeno
Objavljeno21. srp 2026.
Otvorite službenu obavijest ↗

Službeni sažetak · Nederlands

Što se nabavlja?

300mm Dry Etch Platform bestaande uit een Process Module zoals hieronder omschreven: i. Conductor Dry Ether met ICP (Inductively Coupled Plasma) RF Source Power en Dual Bottom Bias capability (RF Bias + DC Pulse Bias aan 400kHz) ii. Deze Process Module moet het vermogen hebben om RF Bias en DC Bias te superponeren. Deze Process Module is bedoeld voor verschillende FEOL-toepassingen voor N2 technologie node en verder, in het bijzonder CFET (Complementary Field Effect Transistor) toepassingen inclusief maar niet beperkt tot CFET Nanosheet Etch, CFET Full Gate Etch en CFET Source/Drain Recess. Er moeten minimaal 6 procesmoduleslots beschikbaar zijn op het platform voor een mogelijke capaciteits- en functionaliteitsupgrade. Het platform moet minimaal 5 laadpoorten bevatten.

Povijest obavijesti

Vremenski slijed postupka nabave

Pratite glavne faze i izmjene povezane s ovim postupkom nabave.

Još nije pronađena nijedna druga povezana obavijest.

  1. Obavijest o rezultatu Trenutačna obavijest

    · TED 503557-2026

    Otvorite službenu obavijest ↗

Podaci su preuređeni radi lakšeg čitanja. Službena obavijest i dokumentacija uvijek imaju prednost.

Izvor i pouzdanost

TED · 503557-2026. Provjereno 23. kol 2026. 20:05.

Podaci su preuređeni radi lakšeg čitanja. Službena obavijest i dokumentacija uvijek imaju prednost.

Prijavite pogrešku e-poštom