Uzatvorené TED · Zdroj · Jazyk: Deutsch

Nemecko · Priemyselné stroje

Oficiálny názov · Deutsch

Upgrade of a 200 mm WxZ Tungsten CVD Chamber to WxZ Sprint Configuration

IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik · Nemecko

Zobraziť oznámenia pod týmto názvom
Lehota 7. 7. 2026 12:00 UTC+02:00
Predpokladaná hodnotaNeuvedené
Zverejnené5. 6. 2026
Otvoriť oficiálne oznámenie ↗

Oficiálne zhrnutie · Deutsch

Čo je predmetom obstarávania?

Gegenstand der Beschaffung ist das Upgrade eines bestehenden 200 mm Wolfram Chemical Vapor Deposition (CVD)-Systems des Herstellers Applied Materials Inc. (AMAT) auf eine WxZ Sprint Konfiguration. Hierzu sind insbesondere Anpassungen am Gasverteilungssystem zur Realisierung eines gepulsten Wolfram-Abscheidungsprozesses sowie die Integration zusätzlicher Hardware zur Ermöglichung von Depositionsdrücken bis 300 Torr erforderlich. Die Leistungen umfassen die Planung, Lieferung, Integration, Inbetriebnahme und Qualifizierung der erforderlichen Hard- und Softwareanpassungen am bestehenden Anlagensystem.

História oznámení

Časová os verejného obstarávania

Sledujte hlavné etapy a aktualizácie súvisiace s týmto postupom verejného obstarávania.

Zatiaľ sa nenašlo žiadne ďalšie súvisiace oznámenie.

  1. Oznámenie o verejnom obstarávaní Aktuálne oznámenie

    · TED 386607-2026

    Otvoriť oficiálne oznámenie ↗

Údaje sú upravené na ľahšie čítanie. Oficiálne oznámenie a súťažné podklady majú vždy prednosť.

Zdroj a spoľahlivosť

TED · 386607-2026. Overené 22. 8. 2026, 18:05.

Údaje sú upravené na ľahšie čítanie. Oficiálne oznámenie a súťažné podklady majú vždy prednosť.

Nahlásiť chybu e-mailom