Gesloten TED · Bron · Taal: Deutsch

Duitsland · Industriële machines

Officiële titel · Deutsch

Upgrade of a 200 mm WxZ Tungsten CVD Chamber to WxZ Sprint Configuration

IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik · Duitsland

Bekijk aankondigingen onder deze naam
Termijn 7 jul. 2026 12:00 UTC+02:00
Geraamde waardeNiet vermeld
Gepubliceerd5 jun. 2026
Officiële aankondiging openen ↗

Officiële samenvatting · Deutsch

Wat wordt ingekocht?

Gegenstand der Beschaffung ist das Upgrade eines bestehenden 200 mm Wolfram Chemical Vapor Deposition (CVD)-Systems des Herstellers Applied Materials Inc. (AMAT) auf eine WxZ Sprint Konfiguration. Hierzu sind insbesondere Anpassungen am Gasverteilungssystem zur Realisierung eines gepulsten Wolfram-Abscheidungsprozesses sowie die Integration zusätzlicher Hardware zur Ermöglichung von Depositionsdrücken bis 300 Torr erforderlich. Die Leistungen umfassen die Planung, Lieferung, Integration, Inbetriebnahme und Qualifizierung der erforderlichen Hard- und Softwareanpassungen am bestehenden Anlagensystem.

Historie van de aankondiging

Tijdlijn van de aanbestedingsprocedure

Volg de belangrijkste fasen en updates van deze aanbestedingsprocedure.

Er is nog geen andere gerelateerde aankondiging gevonden.

  1. Aankondiging van opdracht Huidige aankondiging

    · TED 386607-2026

    Officiële aankondiging openen ↗

De gegevens zijn voor een betere leesbaarheid geordend. De officiële aankondiging en aanbestedingsstukken zijn altijd doorslaggevend.

Bron en betrouwbaarheid

TED · 386607-2026. Gecontroleerd op 22 aug. 2026 18:05.

De gegevens zijn voor een betere leesbaarheid geordend. De officiële aankondiging en aanbestedingsstukken zijn altijd doorslaggevend.

Een fout melden per e-mail