Slēgts TED · Avots · Valoda: Deutsch

Vācija · Rūpnieciskās mašīnas

Oficiālais nosaukums · Deutsch

Upgrade of a 200 mm WxZ Tungsten CVD Chamber to WxZ Sprint Configuration

IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik · Vācija

Skatīt paziņojumus ar šo nosaukumu
Termiņš 2026. gada 7. jūl. 12:00 UTC+02:00
Paredzamā vērtībaNav paziņots
Publicēts2026. gada 5. jūn.
Atvērt oficiālo paziņojumu ↗

Oficiālais kopsavilkums · Deutsch

Kas tiek iepirkts?

Gegenstand der Beschaffung ist das Upgrade eines bestehenden 200 mm Wolfram Chemical Vapor Deposition (CVD)-Systems des Herstellers Applied Materials Inc. (AMAT) auf eine WxZ Sprint Konfiguration. Hierzu sind insbesondere Anpassungen am Gasverteilungssystem zur Realisierung eines gepulsten Wolfram-Abscheidungsprozesses sowie die Integration zusätzlicher Hardware zur Ermöglichung von Depositionsdrücken bis 300 Torr erforderlich. Die Leistungen umfassen die Planung, Lieferung, Integration, Inbetriebnahme und Qualifizierung der erforderlichen Hard- und Softwareanpassungen am bestehenden Anlagensystem.

Paziņojuma vēsture

Iepirkuma procedūras laika skala

Sekojiet galvenajiem posmiem un atjauninājumiem, kas saistīti ar šo iepirkuma procedūru.

Cits saistīts paziņojums vēl nav identificēts.

  1. Konkursa paziņojums Pašreizējais paziņojums

    · TED 386607-2026

    Atvērt oficiālo paziņojumu ↗

Dati ir pārstrukturēti vieglākai lasīšanai. Oficiālais paziņojums un iepirkuma dokumenti vienmēr ir noteicošie.

Avots un uzticamība

TED · 386607-2026. Pārbaudīts 2026. gada 22. aug. 18:05.

Dati ir pārstrukturēti vieglākai lasīšanai. Oficiālais paziņojums un iepirkuma dokumenti vienmēr ir noteicošie.

Ziņot par kļūdu e-pastā