Suljettu TED · Lähde · Kieli: Deutsch

Saksa · Teollisuuskoneet

Virallinen otsikko · Deutsch

Upgrade of a 200 mm WxZ Tungsten CVD Chamber to WxZ Sprint Configuration

IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik · Saksa

Näytä tällä nimellä julkaistut ilmoitukset
Määräaika 7.7.2026 12:00 UTC+02:00
Arvioitu arvoEi ilmoitettu
Julkaistu5.6.2026
Avaa virallinen ilmoitus ↗

Virallinen yhteenveto · Deutsch

Mitä hankitaan?

Gegenstand der Beschaffung ist das Upgrade eines bestehenden 200 mm Wolfram Chemical Vapor Deposition (CVD)-Systems des Herstellers Applied Materials Inc. (AMAT) auf eine WxZ Sprint Konfiguration. Hierzu sind insbesondere Anpassungen am Gasverteilungssystem zur Realisierung eines gepulsten Wolfram-Abscheidungsprozesses sowie die Integration zusätzlicher Hardware zur Ermöglichung von Depositionsdrücken bis 300 Torr erforderlich. Die Leistungen umfassen die Planung, Lieferung, Integration, Inbetriebnahme und Qualifizierung der erforderlichen Hard- und Softwareanpassungen am bestehenden Anlagensystem.

Ilmoitushistoria

Hankintamenettelyn aikajana

Seuraa tähän hankintamenettelyyn liittyviä päävaiheita ja päivityksiä.

Muita tähän liittyviä ilmoituksia ei ole vielä tunnistettu.

  1. Hankintailmoitus Nykyinen ilmoitus

    · TED 386607-2026

    Avaa virallinen ilmoitus ↗

Tiedot on jäsennetty helpommin luettaviksi. Virallinen ilmoitus ja hankinta-asiakirjat ovat aina ratkaisevia.

Lähde ja luotettavuus

TED · 386607-2026. Tarkistettu 22.8.2026 klo 18.05.

Tiedot on jäsennetty helpommin luettaviksi. Virallinen ilmoitus ja hankinta-asiakirjat ovat aina ratkaisevia.

Ilmoita virheestä sähköpostitse