Oficiali santrauka · Deutsch
Kas perkama?
Gegenstand der Beschaffung ist das Upgrade eines bestehenden 200 mm Wolfram Chemical Vapor Deposition (CVD)-Systems des Herstellers Applied Materials Inc. (AMAT) auf eine WxZ Sprint Konfiguration. Hierzu sind insbesondere Anpassungen am Gasverteilungssystem zur Realisierung eines gepulsten Wolfram-Abscheidungsprozesses sowie die Integration zusätzlicher Hardware zur Ermöglichung von Depositionsdrücken bis 300 Torr erforderlich. Die Leistungen umfassen die Planung, Lieferung, Integration, Inbetriebnahme und Qualifizierung der erforderlichen Hard- und Softwareanpassungen am bestehenden Anlagensystem.
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Skelbimo istorija
Pirkimo procedūros laiko juosta
Sekite pagrindinius šios pirkimo procedūros etapus ir atnaujinimus.
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Šaltinis ir patikimumas
TED · 386607-2026. Patikrinta 2026-08-22 18:05.
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