Zatvoreno TED · Izvor · Jezik: Deutsch

Njemačka · Industrijski strojevi

Službeni naslov · Deutsch

Upgrade of a 200 mm WxZ Tungsten CVD Chamber to WxZ Sprint Configuration

IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik · Njemačka

Pogledajte objave pod ovim nazivom
Rok 7. srp 2026. 12:00 UTC+02:00
Procijenjena vrijednostNije objavljeno
Objavljeno5. lip 2026.
Otvorite službenu obavijest ↗

Službeni sažetak · Deutsch

Što se nabavlja?

Gegenstand der Beschaffung ist das Upgrade eines bestehenden 200 mm Wolfram Chemical Vapor Deposition (CVD)-Systems des Herstellers Applied Materials Inc. (AMAT) auf eine WxZ Sprint Konfiguration. Hierzu sind insbesondere Anpassungen am Gasverteilungssystem zur Realisierung eines gepulsten Wolfram-Abscheidungsprozesses sowie die Integration zusätzlicher Hardware zur Ermöglichung von Depositionsdrücken bis 300 Torr erforderlich. Die Leistungen umfassen die Planung, Lieferung, Integration, Inbetriebnahme und Qualifizierung der erforderlichen Hard- und Softwareanpassungen am bestehenden Anlagensystem.

Povijest obavijesti

Vremenski slijed postupka nabave

Pratite glavne faze i izmjene povezane s ovim postupkom nabave.

Još nije pronađena nijedna druga povezana obavijest.

  1. Obavijest o nadmetanju Trenutačna obavijest

    · TED 386607-2026

    Otvorite službenu obavijest ↗

Podaci su preuređeni radi lakšeg čitanja. Službena obavijest i dokumentacija uvijek imaju prednost.

Izvor i pouzdanost

TED · 386607-2026. Provjereno 22. kol 2026. 18:05.

Podaci su preuređeni radi lakšeg čitanja. Službena obavijest i dokumentacija uvijek imaju prednost.

Prijavite pogrešku e-poštom