Zamknięte TED · Źródło · Język: Deutsch

Niemcy · Maszyny przemysłowe

Oficjalny tytuł · Deutsch

Upgrade of a 200 mm WxZ Tungsten CVD Chamber to WxZ Sprint Configuration

IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik · Niemcy

Zobacz ogłoszenia pod tą nazwą
Termin 7 lip 2026 12:00 UTC+02:00
Szacunkowa wartośćNie podano
Opublikowano5 cze 2026
Otwórz oficjalne ogłoszenie ↗

Oficjalne podsumowanie · Deutsch

Co jest przedmiotem zamówienia?

Gegenstand der Beschaffung ist das Upgrade eines bestehenden 200 mm Wolfram Chemical Vapor Deposition (CVD)-Systems des Herstellers Applied Materials Inc. (AMAT) auf eine WxZ Sprint Konfiguration. Hierzu sind insbesondere Anpassungen am Gasverteilungssystem zur Realisierung eines gepulsten Wolfram-Abscheidungsprozesses sowie die Integration zusätzlicher Hardware zur Ermöglichung von Depositionsdrücken bis 300 Torr erforderlich. Die Leistungen umfassen die Planung, Lieferung, Integration, Inbetriebnahme und Qualifizierung der erforderlichen Hard- und Softwareanpassungen am bestehenden Anlagensystem.

Historia ogłoszeń

Oś czasu postępowania o udzielenie zamówienia

Śledź główne etapy i aktualizacje powiązane z tym postępowaniem o udzielenie zamówienia.

Nie znaleziono jeszcze żadnego innego powiązanego ogłoszenia.

  1. Ogłoszenie o procedurze konkurencyjnej Bieżące ogłoszenie

    · TED 386607-2026

    Otwórz oficjalne ogłoszenie ↗

Dane uporządkowano dla łatwiejszego czytania. Zawsze rozstrzygają oficjalne ogłoszenie i dokumenty zamówienia.

Źródło i wiarygodność

TED · 386607-2026. Sprawdzono 22 sie 2026, 18:05.

Dane uporządkowano dla łatwiejszego czytania. Zawsze rozstrzygają oficjalne ogłoszenie i dokumenty zamówienia.

Zgłoś błąd e-mailem